特許

J-GLOBAL ID：201303054898033520

金属(IV)テトラ-アミジネート化合物ならびに蒸着においての使用

発明者： ゴードン,ロイ ジー. ,  レーン,ジャン-セバスティアン ,  リー,ファジ
出願人/特許権者： プレジデント アンド フェロウズ オブ ハーバード カレッジ
代理人 (5件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  永坂 友康 ,  蛯谷 厚志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-081411
公開番号（公開出願番号）：特開2013-209375
出願日： 2013年04月09日
公開日（公表日）： 2013年10月10日
要約：

【課題】蒸着等に有用な金属(IV)テトラキス(N,N’-ジアルキルアミジネート)を提供する。【解決手段】金属(IV)テトラキス(N,N’-ジアルキルアミジネート)が合成され、特性を決定された。例示する金属は、ハフニウム、ジルコニウム、タンタル、ニオブ、タングステン、モリブデン、錫及びウランを含む。これらの化合物は、揮発性、かつ熱的に高い安定性であり、金属およびその酸化物、窒化物、その他の化合物を蒸着させるのに好適である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

構造式

IPC (6件)：

C07C 257/12 ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/34 ,  C23C 16/18 ,  C07C 257/14 ,  H01L 21/314

FI (6件)：

C07C257/12 ,  C23C16/40 ,  C23C16/34 ,  C23C16/18 ,  C07C257/14 ,  H01L21/314 A

Fターム (33件)：

4H006AA01 ,  4H006AA03 ,  4H006AB90 ,  4H049VN06 ,  4H049VN07 ,  4H049VP01 ,  4H049VQ43 ,  4H049VR54 ,  4H049VS37 ,  4H049VU25 ,  4H049VW02 ,  4K030AA11 ,  4K030AA13 ,  4K030AA14 ,  4K030BA10 ,  4K030BA17 ,  4K030BA22 ,  4K030BA38 ,  4K030BA42 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030FA10 ,  4K030JA10 ,  4K030LA02 ,  4K030LA15 ,  5F058BA02 ,  5F058BA20 ,  5F058BC03 ,  5F058BC09 ,  5F058BF02 ,  5F058BF27 ,  5F058BF29 ,  5F058BF30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 金属アミジナートを用いる原子層の析出
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2004-570408   出願人：プレジデント・アンド・フェロウズ・オブ・ハーバード・カレッジ
• 化学気相成長材料及び化学気相成長方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-218311   出願人：JSR株式会社
• 金属(IV)テトラ-アミジネート化合物ならびに蒸着においての使用
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2009-518210   出願人：プレジデントアンドフェロウズオブハーバードカレッジ

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Bulletin de la Societe Chimique de France, 1996, Vol.133, Vol.7-8, p.711-720