特許
J-GLOBAL ID：201303055613612430
自動及び手動欠陥分類の統合
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
辻居 幸一
, 熊倉 禎男
, 大塚 文昭
, 西島 孝喜
, 須田 洋之
, 上杉 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-099682
公開番号（公開出願番号）：特開2013-224943
出願日： 2013年04月18日
公開日（公表日）： 2013年10月31日
要約：
【課題】検査データに基づいた自動欠陥分類のための改良された方法、システム、又はソフトウェアを提供すること。【解決手段】欠陥分類のための方法であって、多次元特徴空間における複数の分類規則に関して、複数の欠陥クラスの複数の定義を記憶する段階を含む。検査中の1つ又はそれ以上のサンプルから検出された複数の欠陥に関連する検査データを受け取る。複数の定義に基づいて自動分類器を検査データに適用することにより、複数の欠陥の中の欠陥に関するクラスラベル及び対応する信頼度レベルを含む、複数の第1の分類結果を生成する。欠陥に関する信頼度レベルが予め設定された信頼度閾値以下であると決定すると、欠陥に対して少なくとも1つの検査手法を適用することによって複数の第2の分類結果を生成する。複数の第1の分類結果と複数の第2の分類結果とを組み合わせることによって複数の欠陥クラスの中の複数の欠陥の分布を含むレポートを生成する。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
欠陥分類のための方法であって、
コンピュータシステムにより、多次元特徴空間における複数の分類規則に関して、複数の欠陥クラスの複数の定義を記憶する段階と、
前記コンピュータシステムにより、検査中の1つ又はそれ以上のサンプルから検出された複数の欠陥に関連する検査データを受け取る段階と、
前記コンピュータシステムにより、前記複数の定義に基づいて自動分類器を前記検査データに適用することにより、前記複数の欠陥の中の欠陥に関するクラスラベル及び対応する信頼度レベルを含む、複数の第1の分類結果を生成する段階と、
欠陥に関する信頼度レベルが予め設定された信頼度閾値以下であると決定すると、前記コンピュータシステムにより、前記欠陥に対して少なくとも1つの検査手法を適用することによって複数の第2の分類結果を生成する段階と、
前記コンピュータシステムにより、前記複数の第1の分類結果と前記複数の第2の分類結果とを組み合わせることによって、前記複数の欠陥クラスの中の前記複数の欠陥の分布を含むレポートを生成する段階と、
を含む欠陥分類のための方法。
IPC (2件)：
G01N 23/225
, G01N 21/956
G01N23/225
, G01N21/956 A
2G001AA03
, 2G001BA07
, 2G001CA03
, 2G001FA03
, 2G001GA06
, 2G001HA19
, 2G001KA03
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001PA03
, 2G051AA51
, 2G051AB02
, 2G051EC01
, 2G051ED21
