特許
J-GLOBAL ID：201303056107756020
光学式変位測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
曾我 道治
, 鈴木 憲七
, 梶並 順
, 大宅 一宏
, 上田 俊一
, 吉田 潤一郎
, 飯野 智史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-199660
公開番号（公開出願番号）：特開2013-061233
出願日： 2011年09月13日
公開日（公表日）： 2013年04月04日
要約：
【課題】光源から放射された入射光の微小な変位を測定するにあたり、出力信号のS/Nを向上させるとともに、回路構成を小型化することができる光学式変位測定装置を得る。【解決手段】受光面が光に対して不感なギャップを介して複数の領域に分割された4分割フォトダイオード10に対して、光源から放射された入射光を入射させ、4分割フォトダイオード10のフォトダイオード11A〜11Dからの出力を増幅し、増幅された出力の変化に基づいて、4分割フォトダイオード10に対する入射光の相対的な変位を測定する光学式変位測定装置であって、4分割フォトダイオード10のフォトダイオード11A〜11Dには、それぞれ入射光によって出力を生じない不感領域12と、入射光によって出力を生じる感光領域13とが形成され、4分割フォトダイオード10全体について、不感領域12は、感光領域13に囲まれているものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
受光面が光に対して不感なギャップを介して複数の領域に分割された光検出素子に対して、光源から放射された入射光を入射させ、前記光検出素子の各領域からの出力を増幅し、増幅された出力の変化に基づいて、前記光検出素子に対する前記入射光の相対的な変位を測定する光学式変位測定装置であって、
前記光検出素子の各領域には、それぞれ前記入射光によって出力を生じない不感領域と、前記入射光によって出力を生じる感光領域とが形成され、前記光検出素子全体について、前記各領域に形成された不感領域は、前記各領域に形成された感光領域に囲まれている
ことを特徴とする光学式変位測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B11/00 C
, H01L31/10 A
2F065AA07
, 2F065AA09
, 2F065AA19
, 2F065BB29
, 2F065FF23
, 2F065HH04
, 2F065JJ22
, 2F065LL11
, 5F049NA04
, 5F049NA19
, 5F049NB07
, 5F049RA02
, 5F049RA10
, 5F049UA13
