特許

J-GLOBAL ID：201303057215864537

シリカガラスルツボ及びその製造方法

発明者： 須藤 俊明 ,  北原 賢 ,  相場 秋廣 ,  奥州谷 和司 ,  吉田 文枝 ,  小玉 真喜子
出願人/特許権者： ジャパンスーパークォーツ株式会社
代理人 (3件)： SK特許業務法人 ,  奥野 彰彦 ,  伊藤 寛之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-263041
公開番号（公開出願番号）：特開2013-112597
出願日： 2011年11月30日
公開日（公表日）： 2013年06月10日
要約：

【課題】長時間の高温条件下におけるシリコン単結晶の引き上げにおいてシリカガラスルツボの内表面にブラウンリングや開気泡の発生が抑制されるシリカガラスルツボ及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明によれば、合成シリカ粉から形成される内面層と、天然シリカ粉から形成される外面層と、を備えるシリコン単結晶引き上げ用シリカガラスルツボであって、前記内面層は、ラマン法で測定した波長492cm-1のピーク強度D1と、波長606cm-1のピーク強度D2との強度比D1/D2が、1.8以上2.0以下の合成シリカ粉を熔融して形成されるシリカガラスルツボが提供される。【選択図】図9

請求項（抜粋）：

合成シリカ粉から形成される内面層と、 天然シリカ粉から形成される外面層と、を備えるシリコン単結晶引き上げ用シリカガラスルツボであって、 前記内面層は、ラマン法で測定した波長492cm-1のピーク強度D1と、波長606cm-1のピーク強度D2との強度比D1/D2が、1.8以上2.0以下の合成シリカ粉を熔融して形成される、シリカガラスルツボ。

IPC (2件)：

C30B 29/06 ,  C30B 15/10

FI (2件)：

C30B29/06 502B ,  C30B15/10

Fターム (6件)：

4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG02 ,  4G077PD01 ,  4G077PD05

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 石英ガラスルツボの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-272761   出願人：住友金属工業株式会社