走査システムを校正する方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：谷義一 , 阿部和夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-611030
特許番号：特許第5042409号
出願日： 2000年04月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 a)製品の表面に向かって該表面に理論上垂直な方向にプローブスタイラスを移動させ、該表面の複数の特定基準点で該表面に接触させるステップ、 b)機械の移動とプローブスタイラスの振れの、その接触点で表面に垂直である成分のみを使用し、スタイラス先端がちょうど表面に接触状態になる瞬間に、基準点各々の位置の決定をするステップ、 c)基準点を理論上通過しながら、製品の表面を横切ってプローブを走査するステップ、 d)ステップc)の走査から、さらに、基準点各々の見かけ上の位置の決定をし、ステップb)で決定された位置とのどんな差をも記録するステップ、 e)前記差を蓄積するステップ、とを備えることを特徴とする測定機械及びワークピース接触用スタイラスを有するプローブを備える走査システムを校正する方法。

IPC (2件)：