特許
J-GLOBAL ID:201303058690452010
アルカリ金属拡散障壁層
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
浅村 皓
, 浅村 肇
, 小堀 貞文
, 池田 幸弘
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-570116
特許番号:特許第4784849号
出願日: 1999年09月09日
請求項(抜粋):
【請求項1】 表面にアルカリ金属イオンを有するガラス基体;
前記基体の表面から一定間隔を置いて上に離れている媒体であって、予め定められた濃度のアルカリ金属イオンが前記媒体の機能を劣化することを特徴とする該媒体;及び
前記表面と前記媒体との間にある、30〜120Åの範囲にある厚さを有し、前記ガラス基体と前記媒体との間にアルカリ金属イオン障壁層を与える結晶密度の75%に等しいか又はそれより大きく、90%未満の密度を有する酸化ジルコニウムのスパッター無定形層;
を備えた物品。
IPC (2件):
C03C 17/34 ( 200 6.01)
, G02F 1/1333 ( 200 6.01)
FI (2件):
C03C 17/34 Z
, G02F 1/133 500
引用特許:
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