特許
J-GLOBAL ID：201303059885661761
酸化タンタル膜形成用組成物および酸化タンタル膜の形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-297285
公開番号（公開出願番号）：特開2003-104726
特許番号：特許第4894121号
出願日： 2001年09月27日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 [A](a1)タンタルアルコキシドと、(a2)分子内に2個以上の水酸基を有するアルコール類(ただしアミノアルコールを除く。)から選ばれる少なくとも1つの化合物と、の反応生成物、および[B]溶媒を含有する酸化タンタル膜形成用組成物であって、(a1)タンタルアルコキシドのアルコキシル基の反応転化率が50モル%以上であることを特徴とする酸化タンタル膜形成用組成物。
IPC (5件)：
C01G 35/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/316 ( 200 6.01)
, H01L 29/78 ( 200 6.01)
, H01L 21/8242 ( 200 6.01)
, H01L 27/108 ( 200 6.01)
C01G 35/00 B
, H01L 21/316 G
, H01L 29/78 301 G
, H01L 27/10 651
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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