特許
J-GLOBAL ID：200903047030049235
貯蔵安定性のある金属アリールケトンアルコレート溶液と薄膜の光開始パターン化におけるその用途
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
広瀬 章一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-229621
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160874
出願日： 1998年08月14日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】 1年以上も貯蔵できる貯蔵安定性に優れた感光性ゾルゲル溶液を用いて、レジスト不要で集積回路用薄膜を高解像度でパターン化する。【解決手段】 感光性の金属アリールケトンアルコーレートの溶液薄膜を、マスクを介して紫外線露光して微細パターン化する。得られたパターンを非極性溶剤で現像し、焼成すると、集積回路用の金属酸化物薄膜が得られる。
請求項（抜粋）：
光パターン化薄膜の成膜用感光性溶液であって、溶媒、およびアルコキシド基と、このアルコキシド基をアリール基に結びつけているケトンとに結合された金属を有する感光性材料、を含み、該感光性材料が、該ケトンと該アルコキシド基との間に結合を持ち、この結合が、これに電磁線が作用することにより該感光性材料を切断して、該感光性材料から該ケトンおよび該アリール基を除去するための手段となる、感光性溶液。
IPC (4件)：
G03F 7/038
, C09D 5/00
, G03F 7/004 501
, H01L 21/027
G03F 7/038
, C09D 5/00 C
, G03F 7/004 501
, H01L 21/30 502 R
