樹脂組成物、重合体、硬化膜および電子部品

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人SSINPAT
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-128954
公開番号（公開出願番号）：特開2013-209607
出願日： 2012年06月06日
公開日（公表日）： 2013年10月10日
要約：

【課題】伸び物性に優れた硬化膜を形成することが可能な樹脂組成物、前記組成物の含有成分として好適な重合体、前記組成物から形成された硬化膜、前記硬化膜を有する電子部品を提供する。【解決手段】(A)式(a1)で表される水酸基をもった構造単位および式(a2)で表されるカチオン重合性基をもった構造単位を有する重合体と、(F)溶剤とを含有する樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)式(a1)で表される構造単位および式(a2)で表される構造単位を有する重合体と、 (F)溶剤とを含有する樹脂組成物。

IPC (9件)：

C08L 63/00 , G03F 7/023 , G03F 7/038 , C08K 5/00 , C08K 5/151 , C08K 5/28 , C08G 59/62 , H01L 21/027 , H05K 1/03

FI (9件)：

C08L63/00 C , G03F7/023 , G03F7/038 503 , C08K5/00 , C08K5/151 , C08K5/28 , C08G59/62 , H01L21/30 502R , H05K1/03 610L

Fターム (58件)：

2H125AE03P , 2H125AE04P , 2H125AE06P , 2H125AE07P , 2H125AE12P , 2H125AF04P , 2H125AF05P , 2H125AF18P , 2H125AF46P , 2H125AH06 , 2H125AJ04X , 2H125AJ48X , 2H125AM08P , 2H125AM13P , 2H125AM15P , 2H125AM49P , 2H125AN57P , 2H125BA05P , 2H125BA22P , 2H125CA12 , 2H125CB05 , 2H125CC01 , 2H125CC03 , 2H125CC12 , 2H125CC15 , 2H125CC17 , 2H125CC21 , 4J002CD191 , 4J002EA056 , 4J002ED026 , 4J002EE036 , 4J002EH036 , 4J002EH156 , 4J002EL028 , 4J002EL058 , 4J002EL066 , 4J002EP016 , 4J002EQ037 , 4J002EU026 , 4J002FD148 , 4J002FD206 , 4J002FD207 , 4J002GJ01 , 4J002GJ02 , 4J002GQ01 , 4J002HA03 , 4J036AK08 , 4J036CD01 , 4J036FA10 , 4J036FA11 , 4J036FA12 , 4J036HA02 , 4J036JA05 , 4J036JA06 , 4J036JA07 , 4J036JA08 , 4J036JA09 , 4J036KA01

引用特許：

出願人引用 (2件)

レジスト下層膜材料およびこれを用いたパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-260153 出願人：信越化学工業株式会社
感放射線性樹脂組成物、および層間絶縁膜とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-328871 出願人：JSR株式会社

審査官引用 (2件)

レジスト下層膜材料およびこれを用いたパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-260153 出願人：信越化学工業株式会社
感放射線性樹脂組成物、および層間絶縁膜とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-328871 出願人：JSR株式会社

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