特許
J-GLOBAL ID：200903034136815552
感放射線性樹脂組成物、および層間絶縁膜とその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
大島 正孝
, 勝又 秀夫
, 白石 泰三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-328871
公開番号（公開出願番号）：特開2009-151099
出願日： 2007年12月20日
公開日（公表日）： 2009年07月09日
要約：
【課題】高い感放射線感度を有し、現像工程において最適現像時間を越えても良好なパターン形状を形成できる現像マージンを有し、密着性に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができ、しかも高耐熱性、高耐溶剤性、高透過率、低誘電率、耐ドライエッチング性の層間絶縁膜の形成に好適な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物よりなる群から選ばれる少なくとも1種、およびこの少なくとも1種の成分と異なる他の不飽和化合物の共重合体、1,2-キノンジアジド化合物、ならびにスチレン系の繰り返し単位を70重量%以上含有してなる重合体を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
[A](a1)不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物よりなる群から選ばれる少なくとも1種、および
(a2)(a1)成分と異なる他の不飽和化合物
の共重合体(但し、下記[C]成分を除く)、
[B]1,2-キノンジアジド化合物、ならびに
[C]下記式(1)で表される繰り返し単位を繰り返し単位の合計に基づいて85重量%以上含有してなる重合体、
を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/023
, G03F 7/038
, H01L 21/027
G03F7/023
, G03F7/038 503
, H01L21/30 502R
2H025AA06
, 2H025AA09
, 2H025AA10
, 2H025AA14
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025CB14
, 2H025CB16
, 2H025CB30
, 2H025CB41
, 2H025CB43
, 2H025CB45
, 2H025FA17
, 2H025FA29
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (5件)
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