特許
J-GLOBAL ID:201303063479017930
光照射装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長澤 俊一郎
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-125305
公開番号(公開出願番号):特開2012-252201
特許番号:特許第5252030号
出願日: 2011年06月03日
公開日(公表日): 2012年12月20日
請求項(抜粋):
【請求項1】 ショートアーク型の放電ランプとこの放電ランプを取り囲むように設けた上記放電ランプからの光を反射するリフレクタとを備える光源部を、複数一方向に並べた光出射部と、
該光出射部から出射する光を、上記一方向に伸びる線状に集光する反射ミラーと、
上記反射ミラーの光出射側に設けられ、上記反射ミラーからの光を偏光する偏光素子とを備え、
上記一方向に対して直交する方向に搬送されるワークに対して偏光光を照射する光照射装置において、
上記偏光素子は、複数の偏光素子を、隣合う偏光素子と各々の端部が、上記光出射部からの光が通過する方向に対して重なるように、上記ワークの搬送方向に対して直交する方向に並べて配置したものであり、
上記複数の偏光素子の境界線は、上記ワークの搬送方向に対して斜めであり、
上記反射ミラーは、複数の反射ミラーを、ワークの搬送方向に対して直交する方向に並べて構成したものであり、
上記複数の反射ミラーの境界線は、上記ワークの搬送方向に対して斜めであるとともに、上記偏光素子の境界線とは、上記ワーク上にこれらを投影した際に上記ワークの搬送方向に対して重ならない
ことを特徴とする光照射装置。
IPC (3件):
G02B 5/30 ( 200 6.01)
, G02F 1/1336 ( 200 6.01)
, G02B 5/10 ( 200 6.01)
FI (3件):
G02B 5/30
, G02F 1/133 3
, G02B 5/10
引用特許:
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