特許
J-GLOBAL ID：201303064162357103
砥粒、スラリー及び研磨液
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
長谷川 芳樹
, 清水 義憲
, 酒巻 順一郎
, 古下 智也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-098587
公開番号（公開出願番号）：特開2013-211570
出願日： 2013年05月08日
公開日（公表日）： 2013年10月10日
要約：
【課題】砥粒と併用し得る添加剤の有無に関わらず、優れた研磨速度で被研磨膜を研磨することが可能な砥粒を提供する。【解決手段】第1の液と、第2の液とを、式(1)で示されるパラメータZが5.00以上である条件で混合して、4価金属元素の水酸化物を含有する砥粒を得る。Z=[1/(ΔpH×k)]×(N/M)/1000・・・(1)[式(1)中、ΔpHは、反応系の1分間当たりのpH変化量を示し、kは、式(2)で示される反応温度係数を示し、Nは、循環数(min-1)を示し、Mは、下記式(5)で示される置換数(min-1)を示す。]k=2[(T-20)/10]・・・(2)[式(2)中、Tは、反応系の温度(°C)を示す。]M=v/Q・・・(5)[式(5)中、vは、第1の液及び第2の液の混合速度(m3/min)を示し、Qは、第1の液及び第2の液を混合して得られる混合液の液量(m3)を示す。]【選択図】なし
請求項（抜粋）：
4価金属元素の塩の水溶液である第1の液と、アルカリ液である第2の液とを、下記式(1)で示されるパラメータZが5.00以上である条件で混合して得られ、且つ、前記4価金属元素の水酸化物を含有する、砥粒。
Z=[1/(ΔpH×k)]×(N/M)/1000 ・・・(1)
[式(1)中、ΔpHは、反応系の1分間当たりのpH変化量を示し、kは、下記式(2)で示される反応温度係数を示し、Nは、下記式(3)で示される循環数(min-1)を示し、Mは、下記式(5)で示される置換数(min-1)を示す。]
k=2[(T-20)/10] ・・・(2)
[式(2)中、Tは、前記反応系の温度(°C)を示す。]
N=(u×S)/Q ・・・(3)
[式(3)中、uは、前記第1の液及び前記第2の液を混合して得られる混合液を攪拌する攪拌羽根の下記式(4)で示される線速度(m/min)を示し、Sは、前記攪拌羽根の面積(m2)を示し、Qは、前記混合液の液量(m3)を示す。]
u=2π×R×r ・・・(4)
[式(4)中、Rは、前記攪拌羽根の回転数(min-1)を示し、rは、前記攪拌羽根の回転半径(m)を示す。]
M=v/Q ・・・(5)
[式(5)中、vは、前記第1の液及び前記第2の液の混合速度(m3/min)を示し、Qは、前記混合液の液量(m3)を示す。]
IPC (3件)：
H01L 21/304
, B24B 37/00
, C09K 3/14
H01L21/304 622B
, H01L21/304 622D
, B24B37/00 H
, C09K3/14 550C
, C09K3/14 550Z
3C058AA07
, 3C058CA05
, 3C058CB03
, 3C058CB10
, 3C058DA02
, 3C058DA12
, 3C058DA17
, 5F057AA28
, 5F057BA18
, 5F057BA24
, 5F057BB37
, 5F057CA12
, 5F057DA03
, 5F057EA01
, 5F057EA09
, 5F057EA17
, 5F057EA29
, 5F057EA31
