特許
J-GLOBAL ID：201303065211721696

流量制御装置及び流量制御システム

発明者：
吉安 一智

吉安 一智 について


出願人/特許権者：
CKD株式会社

CKD株式会社 について


代理人 (2件)： 山田 強 ,  松田 洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-025112
公開番号（公開出願番号）：特開2013-161418
出願日： 2012年02月08日
公開日（公表日）： 2013年08月19日
要約：
【課題】弁体を駆動するアクチュエータの負荷を低減することのできる流量制御装置及び流量制御システムを提供する。【解決手段】流量制御装置18は、内部に第1流路21、弁室22、第2流路23、及び弁座部24が設けられたバルブ本体20と、弁室22の内側と外側とを区画するダイアフラム42と、ダイアフラム42に連結されるとともに、弁座部24に対向して設けられた弁体41と、を備える。流量制御装置18は、弁体41に連結されたピストンロッド60と、弁座部24と弁体41との距離を変化させるように、ピストンロッド60を往復駆動するステッピングモータ90と、ピストンロッド60に往復駆動方向の静荷重を作用させる加減圧ユニット12と、を備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
内部に流体の流路及び弁座部が設けられたバルブ本体と、 前記流路の内側と外側とを区画するダイアフラムと、 前記ダイアフラムに連結されるとともに、前記弁座部に対向して設けられた弁体と、 前記弁体に連結された駆動部材と、 前記弁座部と前記弁体との距離を変化させるように、前記駆動部材を往復駆動する駆動アクチュエータと、 前記駆動部材に前記往復駆動方向の静荷重を作用させる静荷重アクチュエータと、 を備えることを特徴とする流量制御装置。
IPC (3件)：
G05D 7/06 ,  F16K 31/04 ,  F16K 41/10
FI (3件)：
G05D7/06 Z ,  F16K31/04 A ,  F16K41/10
Fターム (24件)：
3H062AA02 ,  3H062AA15 ,  3H062BB30 ,  3H062BB33 ,  3H062CC02 ,  3H062DD01 ,  3H062EE06 ,  3H062GG01 ,  3H062HH03 ,  3H066AA01 ,  3H066BA17 ,  3H066BA38 ,  3H066DA09 ,  5H307AA20 ,  5H307BB05 ,  5H307CC12 ,  5H307DD18 ,  5H307EE02 ,  5H307EE06 ,  5H307EE12 ,  5H307ES06 ,  5H307FF01 ,  5H307HH01 ,  5H307KK02
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 流量制御弁
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-274467   出願人：シーケーディ株式会社
  • 自動設定減圧弁
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-148349   出願人：株式会社テイエルブイ
  • 流体制御弁の制御方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-170354   出願人：シーケーディ株式会社

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