特許
J-GLOBAL ID:201303065750105729

シート貼り換え装置及びシート貼り換え方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人青莪
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-280490
公開番号(公開出願番号):特開2013-058806
出願日: 2012年12月25日
公開日(公表日): 2013年03月28日
要約:
【課題】一方の面に第1シートPSが貼付された被着体Wの他方の面に第2シートSを貼付すると共に、被着体Wから第1シートPSを剥離することのできる簡単な構造で安価なシート貼り換え装置を提供する。【解決手段】被着体Wを第1シートPSを介して搬送用テープ11に接着させた状態で、被着体Wに第2シートSを貼付するシート貼付手段40と、搬送用テープ11を折り返すガイド手段50とを備える。被着体Wに貼付された第1シートPSは、ガイド手段50で折り返される搬送用テープ11と共に被着体Wから剥離される。また、第2シートSは熱硬化性の接着シートであり、被着体Wを加圧した雰囲気下で加熱する加熱炉70内に被着体Wが搬入支持される。【選択図】図1
請求項(抜粋):
一方の面に第1シートが貼付された被着体の他方の面に熱硬化性の接着シートから成る第2シートを貼付すると共に、当該被着体から第1シートを剥離するシート貼り換え装置であって、 前記第1シートに対する接着性を有する搬送用テープを繰出す繰出手段と、 前記搬送用テープに第1シートが貼付されるように被着体を送り出す送出手段と、 前記搬送用テープと共に搬送される前記被着体の他方の面に第2シートを貼付するシート貼付手段と、 前記搬送用テープを折り返すガイド手段と、 前記搬送用テープを回収する回収手段と、 前記被着体を加圧した雰囲気下で加熱する加熱炉と、を備え、 前記ガイド手段は、搬送用テープを折り返すことで、前記搬送用テープと共に前記第1シートを被着体から剥離するように構成され、当該第1シートが剥離された前記被着体を前記加熱炉内に搬入することを特徴とするシート貼り換え装置。
IPC (1件):
H01L 21/683
FI (1件):
H01L21/68 N
Fターム (17件):
5F131AA02 ,  5F131BA42 ,  5F131BA43 ,  5F131BA53 ,  5F131CA37 ,  5F131DA14 ,  5F131EC33 ,  5F131EC34 ,  5F131EC63 ,  5F131EC64 ,  5F131EC67 ,  5F131EC69 ,  5F131EC73 ,  5F131EC76 ,  5F131JA12 ,  5F131JA14 ,  5F131JA24
引用特許:
審査官引用 (2件)

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