フォトスペーサ用感光性樹脂組成物およびこれを用いたフォトスペーサ

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-267133
公開番号（公開出願番号）：特開2013-080194
出願日： 2011年12月06日
公開日（公表日）： 2013年05月02日
要約：

【課題】g線及びh線に対する露光感度が高く、かつ、主フォトスペーサとサブフォトスペーサの両方の形状に優れたフォトスペーサの提供。【解決手段】(A)分子内に重合性基を有するバインダー樹脂、(B)重合性化合物、(C)特定のオキシム構造を有する光重合開始剤、(D)増感剤および(E)重合禁止剤を含有し、同時に2種以上の独立したパターンの形成が可能なフォトスペーサ用感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)分子内に重合性基を有するバインダー樹脂、(B)重合性化合物、(C)下記一般式(3)または(4)で表される光重合開始剤、(D)増感剤および(E)重合禁止剤を含有し、同時に2種以上の独立したパターンの形成が可能なフォトスペーサ用感光性樹脂組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/031 , G03F 7/004 , G03F 7/027 , G03F 7/033 , G03F 7/038 , H01L 21/027 , G02F 1/133 , C08F 2/50 , C08F 2/40

FI (9件)：

G03F7/031 , G03F7/004 502 , G03F7/027 502 , G03F7/033 , G03F7/038 501 , H01L21/30 502R , G02F1/1339 500 , C08F2/50 , C08F2/40

Fターム (79件)：

2H125AC03 , 2H125AC35 , 2H125AC36 , 2H125AC44 , 2H125AC46 , 2H125AC72 , 2H125AD02 , 2H125AD06 , 2H125AD10 , 2H125AD11 , 2H125AD12 , 2H125AD14 , 2H125AD15 , 2H125AM10N , 2H125AM13N , 2H125AM22N , 2H125AM22P , 2H125AM23N , 2H125AM25P , 2H125AM26N , 2H125AM27N , 2H125AM32N , 2H125AM32P , 2H125AM53N , 2H125AM58N , 2H125AN12N , 2H125AN21P , 2H125AN22P , 2H125AN23P , 2H125AN33P , 2H125AN38N , 2H125AN39P , 2H125AN47N , 2H125AN51P , 2H125AN60N , 2H125AN82P , 2H125AN88P , 2H125AN89P , 2H125AP01N , 2H125BA01N , 2H125BA02N , 2H125BA05P , 2H125BA09P , 2H125BA11P , 2H125BA32P , 2H125CA22 , 2H125CB05 , 2H125CC01 , 2H125CC13 , 2H125CD06P , 2H125CD34 , 2H189DA07 , 2H189DA32 , 2H189DA43 , 2H189EA06X , 2H189EA11X , 2H189FA16 , 2H189GA11 , 2H189HA12 , 2H189HA14 , 2H189JA10 , 2H189JA12 , 2H189JA14 , 2H189LA10 , 2H189LA15 , 4J011AC04 , 4J011NA13 , 4J011NA18 , 4J011NA26 , 4J011NB01 , 4J011QA22 , 4J011QB03 , 4J011QC09 , 4J011SA62 , 4J011SA64 , 4J011SA78 , 4J011UA01 , 4J011VA01 , 4J011WA01

引用特許：

審査官引用 (5件)

感光性組成物、感光性フィルム及びプリント基板
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-147460 出願人：富士フイルム株式会社
感光性組成物、感光性フィルム、感光性積層体、永久パターン形成方法、及びプリント基板
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-061427 出願人：富士フイルム株式会社
同時に2種の独立したパターンの形成が可能なカラムスペーサ組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-293228 出願人：エルジーケム.エルティーディ.

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