特許
J-GLOBAL ID：201303066427119121
銅または銅合金のエッチング剤ならびにエッチング法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人サンクレスト国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-169718
公開番号（公開出願番号）：特開2002-363777
特許番号：特許第4706081号
出願日： 2001年06月05日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】モノエタノールアミン、N-メチルエタノールアミン、N-エチルエタノールアミン、N-ブチルエタノールアミン、N,N-ジメチルエタノールアミン、N,N-ジエチルエタノールアミン、2-(2-ヒドロキシ)エトキシエタノールアミン、ジエタノールアミン、N-メチルジエタノールアミン、N-ブチルジエタノールアミン、トリエタノールアミン、プロパノールアミン、イソプロパノールアミン、ヒドロキシエチルピペラジンおよびアンモニア水溶液からなる群より選ばれた少なくとも1種を1〜40重量%、塩素酸、塩素酸塩、亜塩素酸、亜塩素酸塩、次亜塩素酸および次亜塩素酸塩からなる群より選ばれた少なくとも1種の酸化剤を1〜15重量%、アンモニウム塩を1〜10重量%ならびにアゾール化合物を0.1〜2重量%の濃度で混合してなる水溶液からなる銅または銅合金の表面を平滑にするためのエッチング剤。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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