特許

J-GLOBAL ID：201303066745022129

予め校正されているガスリーク用微小孔フィルター

発明者： 吉田 肇 ,  秋道 斉 ,  平田 正紘
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-097052
公開番号（公開出願番号）：特開2013-156273
出願日： 2013年05月02日
公開日（公表日）： 2013年08月15日
要約：

【課題】微小孔フィルターの分子流コンダクタンス、及び、分子流が実現されている圧力領域を予め校正されている微小孔フィルターを提供する。【解決手段】微小孔フィルターの上流に、標準混合ガス及び純ガスのガス導入系、容積輸送式真空ポンプ、隔膜真空計を配置し、微小孔フィルターの下流に、真空容器を配置し、前記真空容器には排気用高真空ポンプ、全圧真空計、分圧真空計を接続した微小孔フィルター校正装置において、微小孔フィルターを介して、真空容器に気体を導入した際、真空容器内部の圧力が、全圧真空計、分圧真空計の動作圧力範囲内にあるように、高真空ポンプの排気速度を選択して、微小孔フィルターの分子流コンダクタンス、及び、分子流が実現されている圧力領域を校正する校正方法を用いて、予め校正されている微小孔フィルター。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

微小孔フィルター上流に純ガスを導入し、下流に配置された真空容器を高真空ポンプで排気速度CPで排気したとき、上流圧力Puを隔膜真空計で、下流圧力Pdを全圧真空計で測定し、式CF=CPPd/Puを使って、上流圧力Puを変えながらCFを求め、CFが一定となる圧力領域を、分子流が実現している領域として校正することを特徴とする微小孔フィルター校正方法を用いて、予め校正されている微小孔フィルター。

IPC (2件)：

G01M 3/00 ,  G01M 3/26

FI (2件)：

G01M3/00 F ,  G01M3/26 A

Fターム (9件)：

2G067AA36 ,  2G067BB04 ,  2G067BB30 ,  2G067CC04 ,  2G067DD02 ,  2G067DD04 ,  2G067DD05 ,  2G067EE01 ,  2G067EE14

引用文献：

審査官引用 (1件)

• 二段式流量分配法による分圧真空計の校正サービス