特許

J-GLOBAL ID：201303071297098040

ウェハ・キャリア格納システムとその動作方法

発明者： セグエス,ポール ,  ウィッガース,ロバート・ティー ,  ハーディング,ネイザン・エイチ ,  アガーワル,サンジェイ・ケイ
出願人/特許権者： モーグ・インコーポレーテッド
代理人 (5件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹 ,  小池 勇三 ,  黒川 弘朗 ,  東森 秀朋
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-510961
特許番号：特許第4979110号
出願日： 2001年05月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 複数のウェハ・キャリアを格納するバッファを備えるウェハ・キャリア格納システムであって、前記バッファは、 (a)それぞれがキャリアの配置用である複数の位置と、そして、それぞれの位置が、前記位置でキャリアの再現可能な配置のための位置決め装置を具備し、 (b)選択されたキャリアを第1位置から第2位置へ移動させるロボット装置であって、 (i)選択されたキャリアと係合するツール装置と、 (ii)可動の較正用固定具を移動させて所定位置に配置し、それぞれの前記位置で位置決めされたときの前記較正用固定具の構造の特徴を検出し、前記構造の特徴を示す信号を出力し、前記構造の特徴が前記位置決め装置に対して正確に知られた位置を提供するセンサ装置とを具備するロボット装置と、 (c)コントローラが、それぞれの前記位置で可動の前記較正用固定具の構造の特徴のそれぞれの位置データを決定し、選択された前記位置上にキャリアを配置する際に使用するために少なくとも1つの正確な座標を計算するために、前記ロボット装置に指示することによって自動較正を行うようにプログラムされている、前記ロボット装置の動作を指示する、前記コントローラと、 を具備しているウェハ・キャリア格納システム。

IPC (2件)：

H01L 21/677 ( 200 6.01) ,  B25J 9/10 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/68 A ,  B25J 9/10 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 搬送ロボットの教示方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-009164   出願人：ソニー株式会社
• 特公平7-090494
  
• 特公平7-090494