特許
J-GLOBAL ID：201303071557505566
感光性樹脂組成物、これを用いたパターンの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-016508
公開番号（公開出願番号）：特開2013-156415
出願日： 2012年01月30日
公開日（公表日）： 2013年08月15日
要約：
【課題】矩形性、感度、PED、解像性及び残膜性に優れる感光性樹脂組成物、パターンの製造方法、有機EL表示装置、液晶表示装置の製造方法および硬化膜の提供。【解決手段】(A1)ヒドロキシスチレンの水酸基をビニルエーテル化合物で保護した繰り返し単位(a1)とα位が水素もしくはメチル基であるヒドロキシスチレン繰り返し単位(a2)とを含有するポリマー、(A2)ヒドロキシスチレンの水酸基をフラン誘導体で保護した繰り返し単位(a3)と繰り返し単位(a2)とを含有するポリマー、(B)重量平均分子量が2000〜15000であり、多分散度が1.5〜5.0であるパラヒドロキシスチレン樹脂、(C)光酸発生剤、(D)塩基化合物、および(E)溶剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A1)下記一般式(I)で表される繰り返し単位(a1)と下記一般式(II)で表される繰り返し単位(a2)とを含有するポリマー、
(A2)下記一般式(III)で表される繰り返し単位(a3)と下記一般式(II)で表される繰り返し単位(a2)とを含有するポリマー、
(B)重量平均分子量が2000〜15000であり、多分散度が1.5〜5.0であるパラヒドロキシスチレン樹脂、
(C)光酸発生剤、
(D)塩基性化合物、および
(E)溶剤、を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/039
, G03F 7/004
, H05B 33/22
, H05B 33/12
, H01L 51/50
, C08F 212/14
, H01L 21/027
G03F7/039 601
, G03F7/004 503A
, G03F7/004 501
, H05B33/22 Z
, H05B33/12 B
, H05B33/14 A
, C08F212/14
, H01L21/30 502R
2H125AF18P
, 2H125AF38P
, 2H125AF52P
, 2H125AH04
, 2H125AH05
, 2H125AH06
, 2H125AH07
, 2H125AH29
, 2H125AJ04X
, 2H125AJ48X
, 2H125AM16P
, 2H125AM26P
, 2H125AM27P
, 2H125AN29P
, 2H125AN31P
, 2H125AN39P
, 2H125AN82P
, 2H125AN86P
, 2H125AN88P
, 2H125BA11P
, 2H125BA26P
, 2H125BA32P
, 2H125CA24
, 2H125CB06
, 2H125CC03
, 2H125CC15
, 2H125CD08P
, 2H125CD09P
, 2H125CD37
, 2H125CD38
, 2H125EA22P
, 3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC45
, 3K107DD89
, 3K107DD90
, 3K107DD97
, 4J100AB07P
, 4J100AB07Q
, 4J100BA02Q
, 4J100BA03P
, 4J100BA04Q
, 4J100BA05Q
, 4J100BC04Q
, 4J100BC43Q
, 4J100BC53Q
, 4J100JA38
