特許

J-GLOBAL ID：201303073815747530

超音波探触子及びそれを用いた超音波診断装置

発明者： 吉村 保廣 ,  永田 達也 ,  佐光 暁史
出願人/特許権者： 日立アロカメディカル株式会社
代理人 (2件)： 磯野 道造 ,  多田 悦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-029259
公開番号（公開出願番号）：特開2013-165753
出願日： 2012年02月14日
公開日（公表日）： 2013年08月29日
要約：

【課題】特性安定性に優れた超音波探触子及びそれを用いた超音波診断装置を提供する。【解決手段】基板5と、基板5上に形成される絶縁膜と、基板5と前記絶縁膜との間に形成される空洞17と、基板5に対して平行に空洞17を挟んで設けられる一対の電極7,11と、を備える超音波送受信素子2を有する超音波探触子1において、超音波送受信素子2は、一対の電極7,11のうちの基板5から離れた電極11の上に、応力の異なる材料からなる膜が積層されてなる多層構造の梁部100が設けられ、梁部100は、引張応力を与える膜と圧縮応力を与える膜とが積層されてなることを特徴とする、超音波探触子1。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に形成される絶縁膜と、前記基板と前記絶縁膜との間に形成される空洞と、前記基板に対して平行に前記空洞を挟んで設けられる一対の電極と、を備える超音波送受信素子を有する超音波探触子において、 前記超音波送受信素子は、 前記一対の電極のうちの前記基板から離れた電極の上に、応力の異なる材料からなる膜が積層されてなる多層構造の梁部が設けられ、 前記梁部は、引張応力を与える膜と圧縮応力を与える膜とが積層されてなる ことを特徴とする、超音波探触子。

IPC (2件)：

A61B 8/00 ,  H04R 19/00

FI (2件)：

A61B8/00 ,  H04R19/00 330

Fターム (10件)：

4C601EE04 ,  4C601EE10 ,  4C601GB02 ,  4C601GB19 ,  4C601GB20 ,  4C601GB41 ,  4C601GB42 ,  5D019AA21 ,  5D019DD01 ,  5D019FF04

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 超音波送受信デバイス,超音波探触子およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-081897   出願人：株式会社日立製作所