有機層蒸着装置及びこれを用いる有機発光表示装置の製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：佐伯義文 , 渡邊隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-149279
公開番号（公開出願番号）：特開2013-016491
出願日： 2012年07月03日
公開日（公表日）： 2013年01月24日
要約：

【課題】有機層蒸着装置及びこれを用いる有機発光表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】被蒸着用基板を固定させる静電チャックと、真空に維持されるチャンバ及びチャンバの内部に配されて静電チャックに固定された基板に薄膜を蒸着する薄膜蒸着アセンブリーを備える蒸着部と、基板が固定された静電チャックを蒸着部内に移動させる第1循環部と、を備え、第1循環部は、蒸着部を通過する時にチャンバ内部に貫通し、第1循環部は、静電チャックが一方向に移動可能に静電チャックを収容する収容部を備えるガイド部を備える有機層蒸着装置及びこれを用いる有機発光表示装置の製造方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被蒸着用基板を固定させる静電チャックと、真空に維持されるチャンバ及び前記チャンバの内部に配されて前記静電チャックに固定された前記基板に薄膜を蒸着する薄膜蒸着アセンブリーを備える蒸着部と、前記基板が固定された前記静電チャックを前記蒸着部内に移動させる第1循環部と、を備え、前記第1循環部が、前記蒸着部を通過する時に前記チャンバ内部に貫通し、前記第1循環部が、前記静電チャックが一方向に移動可能に前記静電チャックを収容する収容部を備えるガイド部を備えることを特徴とする、有機層蒸着装置。

IPC (3件)：

H05B 33/10 , H01L 51/50 , C23C 14/24

FI (3件)：

H05B33/10 , H05B33/14 A , C23C14/24 J

Fターム (21件)：

3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC42 , 3K107CC45 , 3K107GG04 , 3K107GG28 , 3K107GG32 , 3K107GG34 , 4K029AA02 , 4K029AA09 , 4K029AA11 , 4K029AA24 , 4K029BA62 , 4K029BB02 , 4K029BB03 , 4K029CA01 , 4K029DB06 , 4K029DB14 , 4K029HA01 , 4K029JA05 , 4K029KA01

引用特許：

審査官引用 (5件)

薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-181877 出願人：三星モバイルディスプレイ株式會社
特開昭53-113782
磁気浮上型ステージ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-166342 出願人：株式会社ニコン

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