特許
J-GLOBAL ID：201103067243580421
薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
三好 秀和
, 伊藤 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-186365
公開番号（公開出願番号）：特開2011-049167
出願日： 2010年08月23日
公開日（公表日）： 2011年03月10日
要約：
【課題】薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】大型基板の量産工程にさらに適し、高精細のパターニングを可能にするためのものであり、被蒸着用基板を静電チャックに固定させるローディング部;真空に維持されるチャンバと、チャンバの内部に配され、基板と所定程度離隔されて静電チャックに固定された基板に薄膜を蒸着する薄膜蒸着アセンブリを含む蒸着部;静電チャックから、蒸着が完了した基板を分離させるアンローディング部;基板が固定された静電チャックを、ローディング部、蒸着部及びアンローディング部に順次移動させる第1循環部;アンローディング部から、基板と分離された静電チャックを、ローディング部に送り戻す第2循環部;を含み、第1循環部は、蒸着部を通過するとき、チャンバ内部に貫通するように備わった薄膜蒸着装置、及びこれによって製造された有機発光表示装置を提供する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被蒸着用基板を静電チャックに固定させるローディング部と、
真空に維持されるチャンバと、前記チャンバの内部に配され、前記基板と所定程度離隔され、前記静電チャックに固定された基板に薄膜を蒸着する薄膜蒸着アセンブリとを含む蒸着部と、
前記静電チャックから、蒸着が完了した前記基板を分離させるアンローディング部と、
前記基板が固定された静電チャックを、前記ローディング部、蒸着部及びアンローディング部に順次移動させる第1循環部と、
前記アンローディング部から、基板と分離された静電チャックを、前記ローディング部に送り戻す第2循環部と、を含み、
前記第1循環部は、前記蒸着部を通過するとき、前記チャンバ内部に貫通するように備わった薄膜蒸着装置。
IPC (3件)：
H05B 33/10
, H01L 51/50
, C23C 14/04
H05B33/10
, H05B33/14 A
, C23C14/04
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC42
, 3K107CC45
, 3K107GG32
, 3K107GG34
, 3K107GG42
, 3K107GG54
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BB03
, 4K029BD00
, 4K029DA01
, 4K029DA03
, 4K029DB00
, 4K029DB12
, 4K029DB14
, 4K029DB18
, 4K029HA03
, 4K029HA04
, 4K029JA05
, 4K029KA01
, 4K029KA09
