特許

J-GLOBAL ID：201303074192408425

太陽電池製造装置および太陽電池製造方法。

発明者： 三代 信之 ,  柴田 文雄 ,  小林 光
出願人/特許権者： キヤノンマーケティングジャパン株式会社 ,  小林 光
代理人 (1件)： 伊藤 幹郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-007518
公開番号（公開出願番号）：特開2013-149689
出願日： 2012年01月17日
公開日（公表日）： 2013年08月01日
要約：

【課題】太陽電池のウエハの表面に酸化膜形成を施す薬液槽からウエハを保持するウエハキャリアを引きあげる時に、ウエハキャリア及びウエハに残留することで薬液槽から持ち出される薬液の量を低減すること。【解決手段】接して基板を支持する支持部を具備する保持具に収容して化学溶液に浸漬することで基板の表面に化学酸化膜を形成する太陽電池製造装置が、化学溶液に浸漬され化学酸化膜が形成された基板を収容する保持具を、所定の引上速度で化学溶液から引き上げ、引き上げに応じて、所定の引上速度とは異なる速度に切り替え、少なくとも保持具に収容されている基板の一部が化学溶液の液面と接触している時間には、所定の引上速度よりも低速である第1の速度に切り替える。 【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

接して基板を支持する支持部を具備する保持具に収容して化学溶液に浸漬することで基板の表面に化学酸化膜を形成する太陽電池製造装置であって、 前記化学溶液に浸漬され前記化学酸化膜が形成された基板を収容する保持具を、所定の引上速度で前記化学溶液から引き上げる引上手段と、 前記引き上げに応じて、前記所定の引上速度とは異なる速度に切り替える切替手段と、 を備え、 前記切替手段が、少なくとも前記保持具に収容されている基板の一部が前記化学溶液の液面と接触している時間には、前記所定の引上速度よりも低速である第1の速度に切り替えることを特徴とする太陽電池製造装置。

IPC (4件)：

H01L 31/04 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/677 ,  H01L 21/316

FI (4件)：

H01L31/04 F ,  H01L21/304 651L ,  H01L21/68 A ,  H01L21/316 U

Fターム (25件)：

5F031CA02 ,  5F031DA03 ,  5F031FA03 ,  5F031GA19 ,  5F031GA48 ,  5F031HA72 ,  5F031MA23 ,  5F058BC02 ,  5F058BD04 ,  5F058BD07 ,  5F058BF69 ,  5F151AA02 ,  5F151CB30 ,  5F151GA04 ,  5F151GA06 ,  5F157AA02 ,  5F157AA28 ,  5F157AA71 ,  5F157CB03 ,  5F157CB15 ,  5F157CB23 ,  5F157CC02 ,  5F157CC31 ,  5F157CF98 ,  5F157DC90