特許

J-GLOBAL ID：201303075960963170

基板搬送装置

発明者： 内潟 外茂夫 ,  奥田 大輔 ,  岡本 俊一 ,  宮島 勇也 ,  姫野 貴正
出願人/特許権者： 東レエンジニアリング株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-160641
公開番号（公開出願番号）：特開2012-253310
出願日： 2011年07月22日
公開日（公表日）： 2012年12月20日
要約：

【課題】基板上の塗布膜に乾燥ムラが生じるのを抑えて基板を搬送することができ、また、装置の製造上及び組付上の誤差が大きい場合でもパーティクルの発生を抑えることができる基板搬送装置を提供する。【解決手段】ステージの表面から浮上させた基板を基板ガイドでガイドしつつ搬送する基板搬送装置であって、基板ガイドは、基板の側面に当接することで基板を拘束するとともに、ステージの表面と垂直な方向に変位可能な基板ガイド本体と、基板ガイド本体をステージの表面から浮上させる浮上ユニットと、基板ガイド本体をステージの表面側に付勢させる付勢手段と、を備えており、基板ガイド本体は基板の側面に当接する基板当接部を有しており、この基板当接部の高さ位置が、浮上ユニットと付勢手段により、ステージの表面から浮上する基板の高さ位置に維持される構成とする。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

ステージの表面から浮上させた基板を基板ガイドでガイドしつつ搬送する基板搬送装置であって、 前記基板ガイドは、 基板の側面に当接することで基板を拘束するとともに、ステージの表面と垂直な方向に変位可能な基板ガイド本体と、 前記基板ガイド本体をステージの表面から浮上させる浮上ユニットと、 前記基板ガイド本体をステージの表面側に付勢させる付勢手段と、 を備えており、 前記基板ガイド本体は基板の側面に当接する基板当接部を有しており、この基板当接部の高さ位置が、前記浮上ユニットと前記付勢手段により、ステージの表面から浮上する基板の高さ位置に維持されることを特徴とする基板搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/677 ,  B65G 49/06

FI (2件)：

H01L21/68 A ,  B65G49/06 A

Fターム (9件)：

5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA13 ,  5F031GA10 ,  5F031GA15 ,  5F031GA61 ,  5F031LA08 ,  5F031PA23

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特公昭46-042908
  
• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-118720   出願人：オリンパス株式会社
• ガラス板搬送支持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-083442   出願人：日本板硝子株式会社
• 特開昭61-163052
  
• 浮上搬送装置における被搬送物制動装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-117908   出願人：日本エアーテック株式会社