浮上搬送装置における被搬送物制動装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：大野克躬 , 大野令子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-117908
公開番号（公開出願番号）：特開2008-273672
出願日： 2007年04月27日
公開日（公表日）： 2008年11月13日
要約：

【課題】板状の被搬送物を浮上搬送し所定位置に停止させる場合、特に被搬送物に対しその表裏面に制動手段が接することなく、従って、表裏面に損傷等の発生を見ることなく、かつ、被搬送物と制動手段との接触面積を少なくして制止することが出来る制動装置を得る。【解決手段】半導体ウエハー或いは液晶ガラス等の板状体よりなる被搬送物を浮上搬送する装置であって、被搬送物下位の搬送路に被搬送物支持手段として、前記搬送路に清浄空気を吹き出すファンフィルターユニットを設け、かつ、搬送路の両側縁それぞれに制動ローラを被搬送物側端縁と対向するよう直立して設け、対向する搬送路側縁の制動ローラ同志をその対向間隔を変更し得るよう、ローラ支持体に支持した【選択図】図1

請求項（抜粋）：

半導体ウエハー或いは液晶ガラス等の板状体よりなる被搬送物を浮上搬送する装置であって、被搬送物下位の搬送路に被搬送物支持手段として、前記搬送路に清浄空気を吹き出すファンフィルターユニットを設け、かつ、搬送路の両側縁それぞれに制動ローラを被搬送物側端縁と対向するよう直立して設け、対向する搬送路側縁の制動ローラ同志をその対向間隔を変更し得るよう、ローラ支持体に支持してなる浮上搬送装置における被搬送物制動装置。

IPC (4件)：

B65G 51/03 , B65G 49/06 , B65G 49/07 , H01L 21/677

FI (4件)：

B65G51/03 Z , B65G49/06 Z , B65G49/07 J , H01L21/68 A

Fターム (12件)：

5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031GA32 , 5F031GA38 , 5F031GA62 , 5F031KA01 , 5F031KA15 , 5F031NA03 , 5F031PA26

引用特許：

出願人引用 (1件)

気流搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-128933 出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (6件)

ワーク搬送装置及び搬送方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-089527 出願人：キヤノン株式会社
特開平2-130849
特開昭61-163052

全件表示

前のページに戻る