SOI基板を使用した懸垂梁の形成及びその振動式ジャイロメータの製作への応用

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (10件)：中村稔 , 大塚文昭 , 熊倉禎男 , 宍戸嘉一 , 竹内英人 , 今城俊夫 , 小川信夫 , 村社厚夫 , 西島孝喜 , 箱田篤
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-570531
特許番号：特許第4999227号
出願日： 1999年09月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】異方性の機械的特性を有する材料から製作されたリング要素を有する微小機械式リングジャイロメータにおいて、前記リング要素は、使用中振動するようになっており、前記リング要素の少なくとも一部の領域は、前記リング要素の他の部分より厚くなっていて、前記リング要素を製造する材料の異方性の機械的特性を補償することを特徴とするジャイロメータ。

IPC (2件)：