加速度センサ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：碓氷裕彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-230769
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145740
出願日： 1996年08月30日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】地震等の指向性のない平面内多方向の加速度を検出でき、簡単な構成で、組み付けを少なくできる加速度センサを得る。【解決手段】基板30、加速度により変位する円筒状のおもり可動電極12、内側が円柱をくり抜いた形状となっている固定電極13、おもり可動電極12を弾性変形可能な構造材で支持し、基板30に設置された円柱形状のアンカ部11、4本の梁部14〜17から構成されることを特徴とする加速度センサである。外部から加速度を受けた時、基板30に平行な2次元平面において、円柱面のおもり可動電極検出面18と円柱面の固定電極被検出面19が接触し、その接触を検出するように作用する。この時おもり可動電極検出面18と、固定電極被検出面19の間隙は梁部14〜17の弾性係数を考慮して等方的に外力を検出できるように設定されているので、2次元平面の加速度を無指向に検出できる。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に配設されたアンカ部と、一端が前記アンカ部と一体に連結され、前記アンカ部と同一材料からなり、前記基板の表面と略平行に弾性変形可能に配設された梁部と、前記梁部に一体に連結され、前記アンカ部と同一材料からなり、前記基板と所定間隔を有して前記基板上に保持され、前記基板に対して垂直方向の略円柱状側面からなる検出面を有し、印加された加速度に対して前記基板の表面と平行な方向に変位するおもり可動電極と、前記おもり可動電極の前記検出面と所定間隔を有して前記基板上に配設され、前記検出面と対向した略円柱状側面からなる被検出面を有する固定電極と、前記おもり可動電極の前記検出面と前記固定電極の前記被検出面との距離の変化に基づいて前記加速度を検出する検出手段とを備えることを特徴とする加速度センサ。

IPC (4件)：

G01P 15/125 , G01H 1/00 , G01P 15/00 , G01P 15/02

FI (4件)：

G01P 15/125 , G01H 1/00 B , G01P 15/00 F , G01P 15/02 A

引用特許：

審査官引用 (12件)

力学量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-274530 出願人：日本電装株式会社
多次元方向に関する力・加速度・磁気の検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-048055 出願人：岡田和廣
振動ジャイロスコープのためのミクロ構造体
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-094469 出願人：ゼネラル・モーターズ・コーポレーション

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