特許
J-GLOBAL ID:201303078824593636
極低温冷却装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (3件):
高矢 諭
, 牧野 剛博
, 松山 圭佑
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-053720
公開番号(公開出願番号):特開2012-107868
特許番号:特許第5283096号
出願日: 2012年03月09日
公開日(公表日): 2012年06月07日
請求項(抜粋):
【請求項1】 2段式の冷凍機を用いて冷却されるクライオスタットを備えた極低温冷却装置において、
前記冷凍機のコールドヘッドが固定され、その荷重を支持するサポートステージと、
地面に支持されるとともに、該サポートステージに自身がべローズで連結され、被冷却体と前記コールドヘッドの1段冷却ステージ及び2段冷却ステージとを収納する前記クライオスタットと、
該クライオスタットに支持部材を介して支持され、該被冷却体の荷重を支持する低振動ステージと、
前記クライオスタットの内側に配置され且つ該クライオスタットに自身の荷重が支持されるとともに、前記1段冷却ステージに接続され、且つ前記被冷却体と前記2段冷却ステージと前記低振動ステージとを収納する熱シールドと、
を備えることを特徴とする極低温冷却装置。
IPC (2件):
F25B 9/00 ( 200 6.01)
, F25D 3/10 ( 200 6.01)
FI (2件):
F25B 9/00 H
, F25D 3/10 A
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