プリズム面の蒸着装置およびその方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：新庄孝 , 加藤静富 , 入江一郎 , 野末寿一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-156212
公開番号（公開出願番号）：特開2002-348661
特許番号：特許第4721555号
出願日： 2001年05月25日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】蒸着槽と、この蒸着槽内へその回転軸を水平方向へ取り付けて回転自在に設けた移動手段と、該移動手段へ間隔的に多数個を取り付けて一個または複数個のプリズムを載置させた吊持体と、前記移動手段の前記回転軸を通る略垂直中心線上において、前記吊持体のプリズム面に対して蒸発物質を付着させる電子ビーム体とを備えさせ、前記電子ビーム体は、前記蒸発物質が載置された受体を有し、前記プリズムは、その断面二等辺三角形における二つの等辺側が、前記移動手段における垂直中心線上において、該二つの等辺の頂角を挟んで相対的な略同一角度であって、前記電子ビーム体による前記蒸着物質の付着が行われる位置において、前記頂角側が前記受体に臨むように前記吊持体に取り付けられたことを特徴とするプリズム面の蒸着装置。

IPC (3件)：

C23C 14/24 ( 200 6.01) , G02B 1/10 ( 200 6.01) , G02B 5/04 ( 200 6.01)

FI (3件)：

C23C 14/24 J , G02B 1/10 Z , G02B 5/04 E

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭62-010272
特開昭56-079435
特開昭56-016668

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審査官引用 (4件)

特開昭62-010272
特開昭56-079435
特開昭56-016668

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