特許
J-GLOBAL ID：201303080647659626
金属埋め込み方法及び凹部に金属を堆積させるための装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (5件)：
岡部 讓
, 岡部 正夫
, 加藤 伸晃
, 朝日 伸光
, 三山 勝巳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-553480
特許番号：特許第4723678号
出願日： 2009年02月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 凹部が形成された基板を用意する工程と、
気体状態の金属からなる金属蒸気、該金属をエッチングするハロゲンを少なくとも含むハロゲン含有ガス、および気体状態の、前記金属の元素と前記ハロゲンの元素との化合物である金属ハロゲン化物からなる金属ハロゲン化物蒸気とを前記基板に供給する工程であって、前記基板に前記金属ハロゲン化物蒸気を供給することにより、前記凹部において前記金属ハロゲン化物を堆積させて金属ハロゲン化物層を形成させ、前記形成された金属ハロゲン化物層に前記金属蒸気を供給することにより、前記金属蒸気に含まれる金属を該金属ハロゲン化物層の下に析出させて、前記金属を前記金属ハロゲン化物層と前記基板との間に堆積させる工程と
を有することを特徴とする金属埋め込み方法。
IPC (5件)：
H01L 21/285 ( 200 6.01)
, H01L 21/3205 ( 200 6.01)
, H01L 21/28 ( 200 6.01)
, C23C 14/14 ( 200 6.01)
, H01L 23/52 ( 200 6.01)
H01L 21/285 S
, H01L 21/285 C
, H01L 21/88 B
, H01L 21/28 301 R
, C23C 14/14 D
, H01L 21/88 M
