特許
J-GLOBAL ID：201303080768464229
切断面の検出方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
,
,
代理人 (2件)：
牛木 護
, 高橋 知之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-229240
公開番号（公開出願番号）：特開2013-088293
出願日： 2011年10月18日
公開日（公表日）： 2013年05月13日
要約：
【課題】画像処理の負担を軽減し、容易かつ正確に切断面を区別することのできる、新規の切断面の検出方法を提供する。【解決手段】第1の偏光フィルタ2の偏光方向2aを所定の方向に向けて第1の偏光フィルタ2の偏光方向2aと第2の偏光フィルタ4の偏光方向4aを直交させ、照明光1を第1の偏光フィルタ2を透過させ試料3の切断面3b,3cで反射させてから第2の偏光フィルタ4を透過させデジタルカメラ5により撮影して第1の画像を取得し、第1の偏光フィルタ2の偏光方向2aを所定の方向から45度傾かせて第2の画像を取得し、第1の偏光フィルタ2の偏光方向2aと第2の偏光フィルタ4の偏光方向4aを平行にして第3の画像を取得し、第1、第2、第3の画像を加算する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
照明手段、第1の偏光フィルタ、試料、第2の偏光フィルタ、撮影手段の順に配置するとともに、前記第1の偏光フィルタの偏光方向を所定の方向に向けて前記第1の偏光フィルタの偏光方向と前記第2の偏光フィルタの偏光方向を直交させ、前記照明手段が発する光を前記第1の偏光フィルタを透過させ前記試料の切断面で反射させてから前記第2の偏光フィルタを透過させ前記撮影手段により撮影して第1の画像を取得し、
前記第1の偏光フィルタの偏光方向を前記所定の方向から傾かせたほかは前記第1の画像を撮影した条件と同じ条件で第2の画像を取得し、
前記第1、第2の画像を加算して切断面を検出することを特徴とする切断面の検出方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (17件)：
2F065AA01
, 2F065AA12
, 2F065AA21
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065CC06
, 2F065DD06
, 2F065GG02
, 2F065HH03
, 2F065HH08
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL33
, 2F065LL34
, 2F065QQ21
, 2F065QQ27
, 2F065QQ31
出願人引用 (7件)
-
表面検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2005-070454
出願人：株式会社ニコン
-
特開平1-003546
-
偏光顕微鏡システム
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-075391
出願人：浜松ホトニクス株式会社
全件表示
前のページに戻る
