特許

J-GLOBAL ID：201303081291415162

飛行時間型二次イオン質量分析装置用試料固定部材

発明者： 前野 洋平
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (2件)： 籾井 孝文 ,  吉田 昌靖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-021712
公開番号（公開出願番号）：特開2013-160588
出願日： 2012年02月03日
公開日（公表日）： 2013年08月19日
要約：

【課題】固体試料の汚染を防止でき、固体試料を安定的に固定でき、飛行時間型二次イオン質量分析装置において二次イオンの正確な検出を可能とする、飛行時間型二次イオン質量分析装置用の試料固定部材を提供する。【解決手段】飛行時間型二次イオン質量分析装置用試料固定部材は、長さ200μm以上の繊維状柱状物を複数備える繊維状柱状構造体を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

長さ200μm以上の繊維状柱状物を複数備える繊維状柱状構造体を含む、飛行時間型二次イオン質量分析装置用試料固定部材。

IPC (3件)：

G01N 27/62 ,  C01B 31/02 ,  H01J 49/10

FI (4件)：

G01N27/62 F ,  C01B31/02 101F ,  G01N27/62 K ,  H01J49/10

Fターム (29件)：

2G041CA01 ,  2G041DA16 ,  2G041GA06 ,  2G041GA16 ,  4G146AA11 ,  4G146AB06 ,  4G146AB07 ,  4G146AC02B ,  4G146AC30A ,  4G146AC30B ,  4G146AD05 ,  4G146AD22 ,  4G146AD28 ,  4G146BA12 ,  4G146BA48 ,  4G146BB23 ,  4G146BC09 ,  4G146BC23 ,  4G146BC25 ,  4G146BC33A ,  4G146BC33B ,  4G146BC44 ,  4G146DA03 ,  4G146DA22 ,  4G146DA26 ,  4G146DA34 ,  5C038GG02 ,  5C038GH06 ,  5C038GH09

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 試料分析へのカーボンナノチューブの利用
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2007-510172   出願人：コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ
• ターゲット支持体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-277671   出願人：アジレント・テクノロジーズ・インク