特許
J-GLOBAL ID:201303082734987934

空間光変調器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 磯野 道造 ,  多田 悦夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-185244
公開番号(公開出願番号):特開2013-045091
出願日: 2011年08月26日
公開日(公表日): 2013年03月04日
要約:
【課題】光変調しない画素有効領域外からの出射光を抑制して、コントラストを向上させた反射型の空間光変調器を提供する。【解決手段】基板7上に2次元配列された画素4からなる空間光変調器の画素アレイ40は、各画素4の光変調素子同士を絶縁する素子間絶縁層5を、光の入射される側から順に低屈折率絶縁層52およびそれよりも屈折率の高い高屈折率絶縁層51の少なくとも2層を積層して備える。光が高屈折率絶縁層51の上下界面で多重反射して閉じ込められることにより減衰して、出射光が抑制される。【選択図】図4
請求項(抜粋):
基板と、入射した光をその偏光方向を特定の方向に変化させて出射する光変調素子および前記光変調素子に接続された一対の電極を備えた複数の画素と、前記複数の画素から1つ以上の画素を選択する画素選択手段と、この画素選択手段が選択した画素に所定の電流を供給する電流供給手段と、を備えて、前記基板上に2次元配列された前記複数の画素に入射した光を反射させて出射する空間光変調器であって、 前記複数の画素において隣り合う前記光変調素子間を絶縁する素子間絶縁層を備え、前記素子間絶縁層が、前記光の入射される側から順に、屈折率の低い絶縁材料からなる低屈折率絶縁層、前記絶縁材料よりも屈折率の高い絶縁材料からなる高屈折率絶縁層の少なくとも2層を積層してなることを特徴とする空間光変調器。
IPC (1件):
G02F 1/09
FI (2件):
G02F1/09 503 ,  G02F1/09 505
Fターム (16件):
2H079AA03 ,  2H079AA13 ,  2H079BA02 ,  2H079CA02 ,  2H079CA22 ,  2H079DA12 ,  2H079EA27 ,  2H079EB17 ,  2H079EB18 ,  2H079GA05 ,  2H079HA03 ,  2H079HA11 ,  2H079KA01 ,  2H079KA05 ,  2H079KA18 ,  2H079KA19
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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