特許
J-GLOBAL ID：201303084126349537
表面平坦化組成物及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
石田 敬
, 鶴田 準一
, 福本 積
, 西山 雅也
, 樋口 外治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-539035
特許番号：特許第4943613号
出願日： 2000年11月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 (a)液体キャリア、
(b)下記の(i)〜(v)及びそれらの組合せからなる群より選択される化学促進剤:
(i)酸化金属塩、酸化金属錯体、非金属酸化酸、アンモニウム塩、リン塩及び三酸化物からなる群より選択される酸化剤;
(ii)チオール、チオエステル及びチオエーテルからなる群より選択される硫黄含有化合物;
(iii)イミン、アミド、イミド、イミノ二酢酸、オリゴマーイミン、オリゴマーアミド、オリゴマーイミド、ポリマーアミン、ポリマーイミン、ポリマーアミド、及びポリマーイミドからなる群より選択される窒素含有化合物;
(iv)リン酸イオン;
(v)ホスホン酸イオン、並びに
(c)5〜90wt%のフュームド金属酸化物及び10〜95wt%の砥粒を含む固体
を含有し、前記砥粒の90%又はそれよりも多く(数に関して)の粒度が100nm以下である、表面を平坦化又は研磨する組成物。
IPC (3件)：
C09K 3/14 ( 200 6.01)
, B24B 37/00 ( 201 2.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
C09K 3/14 550 D
, C09K 3/14 550 Z
, B24B 37/00 H
, H01L 21/304 621 D
, H01L 21/304 622 D
