特許
J-GLOBAL ID：201303085845328823

RF電源の周波数チューニングに関する電力歪みに基づくサーボ制御システム

発明者：
デビッド ジェイ.,クームー

デビッド ジェイ.,クームー について


出願人/特許権者：
エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド

エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド について


代理人 (1件)： 特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-286068
公開番号（公開出願番号）：特開2013-153432
出願日： 2012年12月27日
公開日（公表日）： 2013年08月08日
要約：
【課題】RF電力システムの全体的な制御性能を改善する。【解決手段】伝送路を介してマッチングネットワークに無線周波数信号を出力する電力増幅器と、上記無線周波数信号を監視して上記無線周波数信号に応じた第1センサ信号を生成する第1センサと、(i)上記第1センサ信号のシヌソイド関数、および(ii)上記第1センサ信号の相互相関関数のうちの少なくとも一方によって第1歪み値を決定する歪みモジュールと、(i)上記第1歪み値および第1所定値に基づいて第1インピーダンスチューニング値を生成する処理と、(ii)上記電力増幅器または上記マッチングネットワークに上記第1インピーダンスチューニング値を出力する処理とを含む、上記マッチングネットワーク内で実行されるインピーダンス整合処理のフィードフォワード制御を行う第1補正回路とを備えている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
無線周波数システムであって、 伝送路を介してマッチングネットワークに無線周波数信号を出力する電力増幅器と、 上記無線周波数信号を監視して上記無線周波数信号に応じた第1センサ信号を生成する第1センサと、 (i)上記第1センサ信号のシヌソイド関数、および(ii)上記第1センサ信号の相互相関関数のうちの少なくとも一方によって第1歪み値を決定する歪みモジュールと、 (i)上記第1歪み値および第1所定値に基づいて第1インピーダンスチューニング値を生成する処理と、(ii)上記電力増幅器または上記マッチングネットワークに上記第1インピーダンスチューニング値を出力する処理とを含む、上記マッチングネットワーク内で実行されるインピーダンス整合処理のフィードフォワード制御を行う第1補正回路とを備えていることを特徴とする無線周波数システム。
IPC (3件)：
H03F 3/20 ,  H01L 21/306 ,  H05H 1/46
FI (3件)：
H03F3/20 ,  H01L21/302 101G ,  H05H1/46 R
Fターム (16件)：
5F004AA16 ,  5F004BC08 ,  5F004CA09 ,  5F004CB05 ,  5J500AA01 ,  5J500AA41 ,  5J500AC73 ,  5J500AC75 ,  5J500AF17 ,  5J500AK26 ,  5J500AK28 ,  5J500AK29 ,  5J500AM11 ,  5J500AM14 ,  5J500AT01 ,  5J500AT05
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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