特許
J-GLOBAL ID：200903089426572067
高周波電源装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-308128
公開番号（公開出願番号）：特開2005-077248
出願日： 2003年08月29日
公開日（公表日）： 2005年03月24日
要約：
【課題】 電力出力部から負荷に向かって出力する進行波電力または負荷電力が出力設定値になるようにフィードバック制御する高周波電源装置では、たとえ検出部等に異常があっても、その異常を検知できないという課題があった。【解決手段】 電力検出部30で検出した進行波電力から反射波電力を減算して負荷電力を求める第1の負荷電力演算部40と、電力出力部と高周波電源装置の出力端との間の伝送線路上の電流を検出する出力電流検出部51と、電力出力部と高周波電源装置の出力端との間の伝送線路上の電圧を検出する出力電圧検出部52と、出力電流検出部および出力電圧検出部の出力に基づいて負荷電力を求める第2の負荷電力演算部53と、第1の負荷電力演算部40で求めた負荷電力および第2の負荷電力演算部53で求めた負荷電力に基づいて高周波電源装置が異常であるか否かを判別する異常判定部とを備えた。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
電力出力部から負荷に向かって出力する進行波電力または負荷電力が出力設定値になるように制御する高周波電源装置において、
負荷に向かって出力する進行波電力及び負荷から反射される反射波電力を検出する電力検出部と、
前記電力検出部の出力に基づいて進行波電力から反射波電力を減算した負荷電力を求める第1の負荷電力演算部と、
前記電力出力部と高周波電源装置の出力端との間の伝送線路上の電流または同等個所の電流を検出する出力電流検出部と、
前記電力出力部と高周波電源装置の出力端との間の伝送線路上の電圧または同等個所の電圧を検出する出力電圧検出部と、
前記出力電流検出部および前記出力電圧検出部の出力に基づいて、前記電力出力部と高周波電源装置の出力端との間の伝送線路上の負荷電力または同等個所の負荷電力を求める第2の負荷電力演算部と、
前記第1の負荷電力演算部で求めた負荷電力および前記第2の負荷電力演算部で求めた負荷電力に基づいて、高周波電源装置が異常であるか否かを判別し、異常であると判別した場合に異常検出信号を出力する異常判定部とを備えたことを特徴とする高周波電源装置。
IPC (3件)：
G01R21/01
, H03H7/40
, H05H1/46
G01R21/01 Z
, H03H7/40
, H05H1/46 R
, H01L21/302 101G
5F004AA01
, 5F004BC08
, 5F004BD04
出願人引用 (3件)
審査官引用 (8件)
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