特許

J-GLOBAL ID：201303086792332722

鉄鋼のプラズマ窒化方法およびプラズマ窒化処理された鉄鋼

発明者： 河西 伸一 ,  木島 一広 ,  清水 章良 ,  宮川 和幸 ,  早川 亮 ,  杉田 良雄 ,  長谷川 均 ,  関谷 英治 ,  中込 章公
出願人/特許権者： 山梨県 ,  ワイエス電子工業株式会社
代理人 (1件)： 松下 亮
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-108563
公開番号（公開出願番号）：特開2013-234370
出願日： 2012年05月10日
公開日（公表日）： 2013年11月21日
要約：

【課題】鉄鋼のプラズマ窒化の新たな窒化条件を特徴とする鉄鋼のプラズマ窒化方法およびプラズマ窒化処理された鉄鋼を提供する。【解決手段】窒素(N2)ガスと水素(H2)ガスの混合条件での鉄鋼のプラズマ窒化において、前記水素(H2)ガスの量を前記窒素(N2)ガスの量の1/25未満という条件で、鉄鋼のプラズマ窒化処理が概2MHzの高周波プラズマ発生双極子電極3のプラズマによって行われる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

窒素(N2)ガスと水素(H2)ガスの混合条件での鉄鋼のプラズマ窒化において、前記水素(H2)ガスの量を前記窒素(N2)ガスの量の1/25未満という条件で、プラズマ窒化が行われるようにしてなることを特徴とする鉄鋼のプラズマ窒化方法。

IPC (2件)：

C23C 8/36 ,  H05H 1/46

FI (2件)：

C23C8/36 ,  H05H1/46 L

Fターム (3件)：

4K028BA03 ,  4K028BA12 ,  4K028BA22

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 電子ビーム励起プラズマを用いた窒化処理方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-161167   出願人：川崎重工業株式会社, 学校法人トヨタ学園
• 金属又は樹脂等の表層硬化法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-170515   出願人：株式会社プラズマ総合研究所

引用文献：

審査官引用 (1件)

• “イオン窒化法”, 19760710, 初版, p.43-47