特許
J-GLOBAL ID：200903014535747985
電子ビーム励起プラズマを用いた窒化処理方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
関 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-161167
公開番号（公開出願番号）：特開2002-356764
出願日： 2001年05月29日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：
【要約】【課題】 電子ビーム励起プラズマを用いた金属窒化処理において、窒素拡散層の生成をさらに加速し深いところまで達する表面硬化層を容易に形成するようにした金属材料の表面窒化処理方法とそれを実施する装置を提供する。【解決手段】 放電プラズマを生成する放電室1,2と、放電プラズマから電子ビームを引き出し加速する加速電極11と、処理材料を載置する試料台14と反応ガスを供給するガス供給口を設けた窒化処理室4を備えた窒化処理装置を用いて、材料台14に鉄鋼材料15を載置し、ガス供給口から窒素ガスと3.8vol%から7.4vol%の間にある所定の閾値以上の濃度を有する水素ガスを含む反応ガスを供給し、加速電極11により放電プラズマから引き出し加速し窒化処理室4に導いた電子ビームにより反応ガスをプラズマ化して鉄鋼材料15に作用させることにより表面に生成する窒素化合物層を介してその内部に窒素拡散層を形成する。
請求項（抜粋）：
放電プラズマを生成する放電室と該放電プラズマから電子ビームを引き出し加速する加速電極を備え、処理材料を載置する試料台と反応ガスを供給するガス供給口を設けた窒化処理室を備えた窒化処理装置において、前記試料台に鉄鋼材料を載置し、前記ガス供給口から窒素ガスと所定の閾値以上の濃度を有する水素ガスを含む反応ガスを供給し、前記加速電極により前記放電プラズマから引き出して加速した電子ビームを前記窒化処理室に導き、前記反応ガスをプラズマ化して前記鉄鋼材料に作用させることにより表面に生成する窒素化合物層を介してその内部に窒素拡散層を形成することを特徴とする窒化処理方法。
IPC (3件)：
C23C 8/38
, B01J 19/08
, H05H 1/24
C23C 8/38
, B01J 19/08 H
, H05H 1/24
4G075AA24
, 4G075AA30
, 4G075BA05
, 4G075BC04
, 4G075BD14
, 4G075CA47
, 4G075DA02
, 4G075EC21
, 4K028BA02
, 4K028BA12
, 4K028BA21
