特許
J-GLOBAL ID：201303086818713975
円筒内周面検査用光学系及び円筒内周面検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-002565
公開番号（公開出願番号）：特開2013-142596
出願日： 2012年01月10日
公開日（公表日）： 2013年07月22日
要約：
【課題】検査装置の円筒内への光学系位置決めのずれに対してロバストで、円筒の内周面に亘って画像化することができるようにする。【解決手段】円筒内周面検査用光学系は、光源16と、光源16からの照明光を、円筒内であって、かつ、円筒と同軸な光となるように反射するビームスプリッタ20と、ビームスプリッタ20により反射された照明光の開口を制限するための絞り部26と、絞り部26により制限された照明光を集光する凸レンズ部28Aと、凸レンズ部28Aによって集光された照明光を円筒の内周面に亘って反射させると共に、内周面からの反射光を、円筒内を撮像する撮像装置24へ反射させる凸曲面状の反射鏡28Bと、反射鏡28Bにより反射された照明光を内周面に照射すると共に内周面からの反射光を集光して受光するための、内周面に対向して設けられた対物凸レンズ部28Cと、を含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
円筒内を照明するための光源と、
前記光源からの照明光を、前記円筒内であって、かつ、前記円筒と同軸な光となるように導光する導光部と、
前記導光部により導光された照明光の開口を制限するための絞り部と、
前記導光部により導光され、かつ、前記絞り部により制限された照明光の拡散を防止するように集光する凸レンズ部と、
前記凸レンズ部によって集光された照明光を前記円筒の内周面に亘って反射させると共に、前記内周面からの反射光を、前記円筒内を撮像する撮像装置へ反射させる凸面状の反射鏡と、
前記反射鏡により反射された照明光を前記内周面に照射すると共に前記内周面からの反射光を集光して受光するための、前記内周面に対向して設けられた対物凸レンズ部と、
を含む円筒内周面検査用光学系。
IPC (4件)：
G01N 21/954
, G02B 23/24
, G02B 23/26
, G01N 21/84
G01N21/954 Z
, G02B23/24 A
, G02B23/26 D
, G01N21/84 A
2G051AA07
, 2G051AA90
, 2G051AB02
, 2G051BB01
, 2G051BB07
, 2G051BB09
, 2G051BB11
, 2G051CA04
, 2G051CA06
, 2G051CB01
, 2G051CC07
, 2G051CC09
, 2G051CC11
, 2H040AA02
, 2H040CA04
, 2H040CA23
, 2H040CA25
, 2H040GA01
