特許
J-GLOBAL ID：201303086927647931

波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器

発明者：
松下 友紀

松下 友紀 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-114154
公開番号（公開出願番号）：特開2013-242359
出願日： 2012年05月18日
公開日（公表日）： 2013年12月05日
要約：
【課題】設定された波長域の光を適切に取り出すことが可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、第一基板51と第一基板51に接合される第二基板52と、第一基板51の第二基板52に対向する面に設けられた第一反射膜551と、第二基板52の第一基板51に対向する面に設けられ、第一反射膜551に対して反射膜間ギャップG1を介して対向する第二反射膜552と、第二基板52を第一基板51と近づく方向に撓ませて反射膜間ギャップG1を変化させる静電アクチュエーター56と、を備え、第一反射膜551及び第二反射膜552は、第一の波長の光に対する反射率よりも前記第一の波長より波長が短い第二の波長の光に対する反射率が高い反射率特性を有する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
第一基板と 前記第一基板と対向する第二基板と、 前記第一基板の前記第二基板に対向する面に設けられた第一反射膜と、 前記第二基板の前記第一基板に対向する面に設けられ、前記第一反射膜に対して反射膜間ギャップを介して対向する第二反射膜と、 前記第二基板を前記第一基板と近づく方向に撓ませて前記第一反射膜と前記第二反射膜との間の前記反射膜間ギャップを変化させるギャップ変更部と、 を備え、 前記第一反射膜及び前記第二反射膜は、第一の波長の光に対する反射率よりも前記第一の波長より波長が短い第二の波長の光に対する反射率が高い反射率特性を有する ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
IPC (3件)：
G02B 26/00 ,  G02B 5/28 ,  G01J 3/26
FI (3件)：
G02B26/00 ,  G02B5/28 ,  G01J3/26
Fターム (55件)：
2G020AA04 ,  2G020BA12 ,  2G020BA20 ,  2G020CA02 ,  2G020CA03 ,  2G020CA04 ,  2G020CA05 ,  2G020CB43 ,  2G020CB56 ,  2G020CC23 ,  2G020CD03 ,  2G020CD24 ,  2G020CD33 ,  2H048GA01 ,  2H048GA03 ,  2H048GA12 ,  2H048GA13 ,  2H048GA48 ,  2H048GA52 ,  2H048GA61 ,  2H048GA62 ,  2H141MA21 ,  2H141MB28 ,  2H141MC04 ,  2H141MC06 ,  2H141MC09 ,  2H141MD02 ,  2H141MD04 ,  2H141ME01 ,  2H141ME04 ,  2H141ME09 ,  2H141ME24 ,  2H141ME25 ,  2H141MF02 ,  2H141MF05 ,  2H141MF13 ,  2H141MF17 ,  2H141MF21 ,  2H141MF28 ,  2H141MG01 ,  2H141MG09 ,  2H141MG10 ,  2H141MZ03 ,  2H141MZ16 ,  2H141MZ22 ,  2H141MZ28 ,  2H141MZ30 ,  2H148GA01 ,  2H148GA03 ,  2H148GA12 ,  2H148GA13 ,  2H148GA48 ,  2H148GA52 ,  2H148GA61 ,  2H148GA62
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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