特許

J-GLOBAL ID：200903089462417922

照明光学装置

発明者： 萩原 茂 ,  森 孝司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-218278
公開番号（公開出願番号）：特開平7-074077
出願日： 1993年09月02日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】【目的】 所定(例えば波長350nm 以上)の波長域の光を照明光として被照明物体に導く照明光学装置において、特別な曇り物質の昇華用の熱源、及びその排熱機構を設けることなしに、光学部材の曇り現象を低減する。【構成】 水銀ランプ1からの光を楕円鏡2で集光し、集光した光をミラー3、インプットレンズ4、バンドパスフィルタ5を介してフライアイレンズ6に導き、フライアイレンズ6から射出される光をリレーレンズ系に導く。送風ユニットからの空気をケミカルフィルタ35及び吹き出し口37を介してインプットレンズ4の周囲に吹き付けて、エアーカーテンを張る。

請求項（抜粋）：

放電ランプと、該放電ランプからの光を反射及び集光する反射集光部材と、該反射集光部材で集光された光から所定の波長帯の光を選択する波長選択部材とを有し、該波長選択部材で選択された光で被照明物体を照明する装置において、前記放電ランプから前記波長選択部材までの光路中に配された光学部材の一部又は全部の周囲を流通する気体から、有機珪素化合物、アンモニア、及び硫酸イオンの内の少なくとも1つを除去する不純物除去用のフィルタ手段を設けたことを特徴とする照明光学装置。

FI (3件)：

H01L 21/30 515 A ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 527

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 縮小投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-086734   出願人：菊池嘉文
• 特開昭60-079358
  
• 半導体露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-178565   出願人：キヤノン株式会社
• 特開平4-139453