特許
J-GLOBAL ID：201303087872865795

感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法及び重合体

発明者：
佐藤 光央

佐藤 光央 について

, 
中村 真一

中村 真一 について

, 
池田 憲彦

池田 憲彦 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (10件)： 天野 一規 ,  藤本 勝誠 ,  池田 義典 ,  小川 博生 ,  加藤 早苗 ,  石田 耕治 ,  森田 慶子 ,  各務 幸樹 ,  根木 義明 ,  新庄 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-078020
公開番号（公開出願番号）：特開2013-205806
出願日： 2012年03月29日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
要約：
【課題】EL性能及びMEEF性能に優れる感放射線性樹脂組成物の提供。【解決手段】[A]下記式(1)で表される構造単位(I)を有する重合体(a)を含む重合体成分、及び[B]酸発生体を含有する感放射線性樹脂組成物であって、式(1)におけるR1及びR2は、炭化水素基、フッ素化炭化水素基、互いに結合して窒素原子と共に環構造を形成してもよく、R3は、炭化水素基又は炭素数フッ素化炭化水素基であることが好ましい。[A]重合体成分は、重合体(a)と同一又は異なる重合体中に酸解離性基を含む構造単位をさらに有することが好ましい。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
[A]下記式(1)で表される構造単位を有する重合体(a)を含む重合体成分、及び [B]感放射線性酸発生体 を含有する感放射線性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/039 ,  C08F 20/12 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G03F7/039 601 ,  C08F20/12 ,  H01L21/30 502R
Fターム (27件)：
2H125AF17P ,  2H125AF36P ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ74X ,  2H125AL03 ,  2H125AL22 ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125BA01P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  4J100AL01R ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100BA11Q ,  4J100BC03P ,  4J100BC53Q ,  4J100CA05 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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