特許

J-GLOBAL ID：201303088496373548

フォトレジスト組成物

発明者： 池田 正俊 ,  笠原 一樹 ,  池田 憲彦
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (8件)： 天野 一規 ,  藤本 勝誠 ,  池田 義典 ,  小川 博生 ,  加藤 早苗 ,  石田 耕治 ,  森田 慶子 ,  各務 幸樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-196584
公開番号（公開出願番号）：特開2013-057834
出願日： 2011年09月08日
公開日（公表日）： 2013年03月28日
要約：

【課題】本発明の目的は、感度等の基本特性を満足し、MEEF、DOF、LWR等のリソグラフィー性能に優れ、さらには現像欠陥を抑制することができるフォトレジスト組成物を提供することである。【解決手段】本発明は、[A]下記式(1)で表される構造単位(I)を有する重合体、[B]酸発生体、及び[C]界面活性剤を含有するフォトレジスト組成物である。また[C]界面活性剤は、ノニオン系界面活性剤であることが好ましい。さらに[C]界面活性剤は、フッ素原子又はケイ素原子を含むノニオン系界面活性剤であることが好ましい。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

[A]下記式(1)で表される構造単位(I)を有する重合体、 [B]酸発生体、及び [C]界面活性剤 を含有するフォトレジスト組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/038 ,  C08F 20/00 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F7/039 601 ,  G03F7/004 504 ,  G03F7/038 ,  C08F20/00 ,  H01L21/30 502R

Fターム (71件)：

2H125AF17P ,  2H125AF36P ,  2H125AF38P ,  2H125AF70P ,  2H125AH03 ,  2H125AH14 ,  2H125AH15 ,  2H125AH16 ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AH23 ,  2H125AH24 ,  2H125AH25 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ32Y ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ64Y ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ65Y ,  2H125AJ68Y ,  2H125AJ69Y ,  2H125AJ92Y ,  2H125AM86P ,  2H125AN02P ,  2H125AN05P ,  2H125AN11P ,  2H125AN34P ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN54P ,  2H125AN86P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125BA33P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AU27P ,  4J100AU29P ,  4J100AU35P ,  4J100BA02R ,  4J100BA03P ,  4J100BA16P ,  4J100BA16R ,  4J100BA40P ,  4J100BA40R ,  4J100BA45R ,  4J100BA51P ,  4J100BA55P ,  4J100BA58P ,  4J100BA76P ,  4J100BC22Q ,  4J100BC23Q ,  4J100BC26Q ,  4J100BC27Q ,  4J100BC28Q ,  4J100BC52R ,  4J100BC53P ,  4J100BC58R ,  4J100BC60R ,  4J100BC65P ,  4J100BC83P ,  4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-158303   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 感光性組成物及び酸発生剤
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-319905   出願人：富士写真フイルム株式会社
• ポジ型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-246979   出願人：富士写真フイルム株式会社