特許
J-GLOBAL ID:201303089138496898

ノズル調整治具

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 青木 宏義 ,  天田 昌行 ,  岡田 喜雅 ,  菅野 亨 ,  溝口 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-093761
公開番号(公開出願番号):特開2013-222842
出願日: 2012年04月17日
公開日(公表日): 2013年10月28日
要約:
【課題】切削ブレードに対して一対の冷却水ノズルを最適な位置に容易に調整すること。【解決手段】ノズル調整治具(8)は、切削ブレード(34)が取り外された状態で、スピンドルハウジング(311)の下面(313)に装着されることで、切削ブレード(34)を挟み込むように配置される一対の冷却ノズル(71)の上下位置を調整する。ノズル調整治具(8)は、スピンドルハウジング(311)の下面(313)に磁力によって装着され、冷却水ノズル(71)が上方から当接されることで、切削ブレード(34)に対して一対の冷却水ノズル(71)の上下位置を適切に調整する。【選択図】図6
請求項(抜粋):
被加工物を切削する切削ブレードと、固定フランジを介して前記切削ブレードを支持するスピンドルと、前記スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、前記切削ブレードを挟んで前記切削ブレードの表裏面側に配設された前記切削ブレードに冷却水を供給する一対の冷却水ノズルと、を少なくとも有する切削装置において使用され、前記切削ブレードが取り外された状態で前記冷却水ノズルのノズル位置を調整するノズル調整治具であって、 前記スピンドルハウジング下端に磁力により着脱自在に装着される装着部と、前記冷却水ノズルの上下位置を所定位置に位置決めする前記スピンドルハウジング下端からの距離が所定距離に設定された冷却水ノズル位置決め部と、から構成され、 前記冷却水ノズル位置決め部を前記冷却水ノズルの下方に位置づけた状態で前記スピンドルハウジング下端に前記装着部を装着し、前記冷却水ノズルの下端を前記冷却水ノズル位置決め部に当接させて前記冷却水ノズルの上下位置を調整することを特徴とするノズル調整治具。
IPC (1件):
H01L 21/301
FI (1件):
H01L21/78 F
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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