特許
J-GLOBAL ID：200903074303981801
研削加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
末成 幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-270600
公開番号（公開出願番号）：特開2008-087104
出願日： 2006年10月02日
公開日（公表日）： 2008年04月17日
要約：
【課題】チャックテーブルの保持面の高さが変化する形式の研削加工装置において、変化する該保持面の高さを常に把握して、研削手段の送り動作時に研削ホイールの砥石固着面が被加工物や保持面に当接することを確実に防止する。【解決手段】研削ホイール35のホイールベース36がチャックテーブル20やウエーハ1に当接することを防ぐインターロック制御を、砥石37の高さに依存せず、ホイールベース36と、チャックテーブル上面20Aおよびウエーハ1との間隔に基づいて行う。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
板状の被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、
該チャックテーブルの前記保持面に対して接近・離間可能に設けられ、接近する送り動作によって該保持面に保持された被加工物を研削する研削ホイールを有する研削手段と、
該研削手段を前記保持面に対して接近・離間させ、その位置を認識する研削手段位置認識部を有する送り手段とを少なくとも含み、
前記研削手段は、スピンドルシャフトと、該スピンドルシャフトの先端に固定され、前記研削ホイールが装着されるマウント面を有するホイールマウントとを備え、
前記研削ホイールは、前記チャックテーブルの前記保持面と略平行な砥石固着面を有する所定厚さのホイールベースと、該ホイールベースの砥石固着面に固着され、実際に被加工物を研削する砥石と
を備えた研削加工装置を用いて、被加工物を研削する方法であって、
前記チャックテーブルの前記保持面と、前記ホイールマウントの前記マウント面との間隔Aを所定間隔に設定するとともに、この時の前記研削手段位置認識部によって認識される研削手段の初期位置Z1を記憶し、
前記ホイールベースの厚さTを前記間隔Aの値から減算して、該ホイールベースの前記砥石固着面と前記チャックテーブルの前記保持面との間隔Bを求めるとともに、該間隔Bおよび前記研削手段の前記初期位置Z1の値から、砥石固着面が保持面に当接する寸前の前記研削手段の限界位置Z2を求め、
前記チャックテーブルに保持される被加工物の厚さWを測定し、
前記研削手段の前記限界位置Z2および被加工物の厚さWに基づいて、前記研削手段位置認識部が、前記ホイールベースの前記砥石固着面と前記チャックテーブルの前記保持面に保持された被加工物とが当接する位置Z3を認識し、
この位置Z3に基づいて、該被加工物に前記研削ホイールの前記砥石固着面が当接する前に研削を終了させることを特徴とする研削加工方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
B24B47/20
, H01L21/304 631
, H01L21/304 622R
3C034AA08
, 3C034AA19
, 3C034CA13
, 3C034CA26
, 3C034CB01
, 3C034DD10
出願人引用 (7件)
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研削加工方法および研削加工装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-054465
出願人：株式会社ニコン
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特開昭59-219156
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特開平2-041871
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