特許
J-GLOBAL ID：201303089183523782

成膜装置並びに成膜装置用の基板搬送装置及び方法

発明者：
伊藤 満

伊藤 満 について


出願人/特許権者：
長州産業株式会社

長州産業株式会社 について


代理人 (1件)： 鯨田 雅信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-070328
公開番号（公開出願番号）：特開2013-199700
出願日： 2012年03月26日
公開日（公表日）： 2013年10月03日
要約：
【目的】成膜時に移動している基板に到達しないまま無駄になってしまう成膜材料をほぼゼロとすることにより成膜材料の利用効率を最大化することができる成膜装置並び成膜装置用の基板搬送装置及び方法を提供する。【構成】移送区間の最初の位置から成膜区間の近傍の位置までに存在する基板保持部Aに対しては、直接に力を加えて、前記成膜区間の近傍の位置まで移動させ、前記成膜区間の近傍の位置から前記成膜区間の終わりの位置までの間に存在する基板保持部Bに対しては、直接に力を加えることなく、前記基板保持部Aが前記基板保持部Bをその後方から直接に又は他の基板保持部Bを介して押すことを通じて、前記成膜区間の終わりの位置まで移動させるようにした成膜装置、基板搬送装置及び方法である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板を搭載した基板保持部を成膜区間に向けて移送する移送区間と、基板保持部を成膜のために所定方向に移動させる成膜区間とに渡って連続的に形成された搬送路に沿って、複数の基板保持部を順次搬送する搬送機構を備えた成膜装置であって、 前記搬送機構は、 前記移送区間の最初の位置から前記移送区間内の前記成膜区間の近傍の位置までの間に存在する各基板保持部Aに対しては、直接に力を加えることにより、前記搬送路に沿って、順次、前記移送区間内の前記成膜区間の近傍の位置まで移動させる第1手段と、 前記移送区間内の前記成膜区間の近傍の位置から前記成膜区間の終わりの位置までの間に存在する各基板保持部Bに対しては、直接に力を加えることなく、前記第1手段により移動している後続の基板保持部Aが、先行する前記基板保持部Bをその後方から直接に又は他の基板保持部Bを介して押すことを通じて、前記搬送路に沿って、順次、前記成膜区間の終わりの位置まで移動させる第2手段と、含むことを特徴とする成膜装置。
IPC (3件)：
C23C 14/56 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/10
FI (3件)：
C23C14/56 G ,  H05B33/14 A ,  H05B33/10
Fターム (17件)：
3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC45 ,  3K107GG04 ,  3K107GG28 ,  3K107GG32 ,  3K107GG41 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB10 ,  4K029DB18 ,  4K029KA02 ,  4K029KA09
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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