特許
J-GLOBAL ID:201303089200277480

加工装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松本 昂
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-130212
公開番号(公開出願番号):特開2012-256794
出願日: 2011年06月10日
公開日(公表日): 2012年12月27日
要約:
【課題】 被加工物にストロボ光を連続して照射しながら撮像ユニットで撮像しても、オペレータに不快感を与えることのない均一化された画像をモニタ上に表示可能な加工装置を提供することである。【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮像する撮像手段と、該チャックテーブルと該加工手段とを相対的に加工送りする加工送り手段とを備えた加工装置であって、該撮像手段は、被加工物を照明するストロボ光源と、照明された被加工物を撮像するカメラと、該カメラで撮像した画像を表示する表示手段と、該カメラで撮像した画像を記憶する画像記憶部と、該画像記憶部で記憶された隣接するn個(nは2以上の整数)の画像の明度を合算しnで割り算して平均値を算出する算出部とを含み、該算出部で平均化された画像を該表示手段に表示することを特徴とする。【選択図】図3
請求項(抜粋):
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮像する撮像手段と、該チャックテーブルと該加工手段とを相対的に加工送りする加工送り手段とを備えた加工装置であって、 該撮像手段は、被加工物を照明するストロボ光源と、 照明された被加工物を撮像するカメラと、 該カメラで撮像した画像を表示する表示手段と、 該カメラで撮像した画像を記憶する画像記憶部と、 該画像記憶部で記憶された隣接するn個(nは2以上の整数)の画像の明度を合算しnで割り算して平均値を算出する算出部とを含み、 該算出部で平均化された画像を該表示手段に表示することを特徴とする加工装置。
IPC (1件):
H01L 21/301
FI (1件):
H01L21/78 C
引用特許:
審査官引用 (3件)

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