特許
J-GLOBAL ID：201003052046309835

切削装置

発明者：
根岸 克治

根岸 克治 について

, 
山田 清

山田 清 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 松本 昂 ,  伊藤 憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-247886
公開番号（公開出願番号）：特開2010-076053
出願日： 2008年09月26日
公開日（公表日）： 2010年04月08日
要約：
【課題】 カーフチェックを行っても生産性を低下させることのない切削装置を提供することである。【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に支持した切削手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮像する撮像手段と、被加工物に対して該チャックテーブルをX軸方向に相対的に移動して該切削手段と該撮像手段とに該チャックテーブルを位置付けるとともに加工送りするX軸送り機構とを備えた切削装置であって、前記撮像手段は、撮像領域に対面する対物レンズと、該対物レンズの光軸上に配設された撮像カメラと、該撮像領域にストロボ光を照射するストロボ光源と、該撮像カメラで撮像された画像を処理する画像処理部とを含んでいることを特徴とする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に支持した切削手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮像する撮像手段と、被加工物に対して該チャックテーブルをX軸方向に相対的に移動して該切削手段と該撮像手段とに該チャックテーブルを位置付けるとともに加工送りするX軸送り機構とを備えた切削装置であって、 前記撮像手段は、撮像領域に対面する対物レンズと、該対物レンズの光軸上に配設された撮像カメラと、該撮像領域にストロボ光を照射するストロボ光源と、該撮像カメラで撮像された画像を処理する画像処理部とを含んでいることを特徴とする切削装置。
IPC (3件)：
B24B 49/12 ,  H01L 21/301 ,  H01L 21/68
FI (4件)：
B24B49/12 ,  H01L21/78 C ,  H01L21/78 F ,  H01L21/68 K
Fターム (21件)：
3C034AA19 ,  3C034BB93 ,  3C034CA03 ,  3C034CA05 ,  3C034CA13 ,  3C034CA22 ,  3C034CB14 ,  3C034DD05 ,  3C034DD10 ,  3C034DD18 ,  5F031CA02 ,  5F031DA13 ,  5F031HA13 ,  5F031HA28 ,  5F031HA57 ,  5F031HA59 ,  5F031HA78 ,  5F031JA37 ,  5F031LA09 ,  5F031LA12 ,  5F031MA34
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (7件)
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