特許
J-GLOBAL ID：201303089634252753

成膜装置及び成膜方法

発明者：
小林 俊之

小林 俊之 について

, 
清水 圭輔

清水 圭輔 について

, 
角野 宏治

角野 宏治 について

, 
水口 由紀子

水口 由紀子 について

, 
村上 洋介

村上 洋介 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (6件)： 大森 純一 ,  折居 章 ,  中村 哲平 ,  吉田 望 ,  金子 彩子 ,  金山 慎太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-124321
公開番号（公開出願番号）：特開2013-249505
出願日： 2012年05月31日
公開日（公表日）： 2013年12月12日
要約：
【課題】ロールツーロールを利用して高品質な薄膜を製造することが可能な成膜装置及び成膜方法を提供すること。【解決手段】本技術に係る成膜装置は、ロールツーロール機構と、加熱部とを具備する。ロールツーロール機構は、成膜対象物を搬送するロールツーロール機構であって、搬送される成膜対象物に印加される張力を緩和する張力緩和部を有する。加熱部は、ロールツーロール機構によって搬送される成膜対象物を加熱する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
成膜対象物を搬送するロールツーロール機構であって、搬送される成膜対象物に印加される張力を緩和する張力緩和部を有するロールツーロール機構と、 前記ロールツーロール機構によって搬送される前記成膜対象物を加熱する加熱部と を具備する成膜装置。
IPC (4件)：
C23C 16/44 ,  C23C 16/26 ,  C23C 14/56 ,  C01B 31/02
FI (4件)：
C23C16/44 F ,  C23C16/26 ,  C23C14/56 B ,  C01B31/02 101Z
Fターム (33件)：
4G146AA01 ,  4G146AB07 ,  4G146BA12 ,  4G146BA48 ,  4G146BB23 ,  4G146BC09 ,  4G146BC25 ,  4G146BC42 ,  4G146BC43 ,  4G146BC44 ,  4G146DA03 ,  4G146DA22 ,  4G146DA27 ,  4G146DA32 ,  4G146DA40 ,  4G146DA42 ,  4G146DA45 ,  4G146DA47 ,  4G146DA48 ,  4K029AA02 ,  4K029AA25 ,  4K029BA34 ,  4K029DA03 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03 ,  4K030AA10 ,  4K030AA17 ,  4K030BA27 ,  4K030CA02 ,  4K030CA17 ,  4K030FA10 ,  4K030GA14 ,  4K030HA13
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM