グラフィンロールトロールコーティング装置及びこれを用いたグラフィンロールトロールコーティング方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：龍華国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-237656
公開番号（公開出願番号）：特開2011-162877
出願日： 2010年10月22日
公開日（公表日）： 2011年08月25日
要約：

【課題】熱伝達効率が高く、信頼度の高い伝熱管をより安価で製造する装置を提供する。【解決手段】ロール・ツ・ロール方式により第1のローラ250から金属部材を前処理部400に供給し、金属部材をプラズマ410で表面処理し、前処理した金属部材をグラフィン合成部500に移動させて、金属部材表面にグラフィンを合成すると共にコーティングし、コーティングされた金属部材を第2ローラ300に巻いて回収するグラフィンロール・ツ・ロールコーティング装置。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

金属部材をロールトロール方式で供給するための第1のローラと; 前記第1のローラを通じて供給された金属部材の表面処理のための前処理部と; 前記前処理された金属部材の表面にグラフィンを合成すると共に、コーティングするためのグラフィン合成部と; 前記グラフィン合成部を介するグラフィンがコーティングされた金属部材をロールトロール方式で回収するための第2のローラと: を含む、グラフィンロールトロールコーティング装置。

IPC (2件)：

C23C 16/26 , C23C 16/54

FI (2件)：

C23C16/26 , C23C16/54

Fターム (9件)：

4K030AA09 , 4K030AA14 , 4K030BA27 , 4K030CA02 , 4K030CA12 , 4K030CA14 , 4K030DA02 , 4K030FA10 , 4K030GA14

引用特許：

出願人引用 (1件)

単結晶グラファイト膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-229947 出願人：梅野正義

審査官引用 (7件)

単結晶グラファイト膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-229947 出願人：梅野正義
特開昭63-026371
無電解めっきニッケル層へのダイヤモンド膜蒸着法
公報種別：公表公報出願番号：特願平8-507953 出願人：ナショナルインダストリアルテクノロジーインスチチュート

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引用文献：

出願人引用 (1件)

Linear Extended ArcJet-CVD - a New PECVD Approach for Continuous Wide Area Coating Under Atmospheric

審査官引用 (1件)

Linear Extended ArcJet-CVD - a New PECVD Approach for Continuous Wide Area Coating Under Atmospheric

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